分享到:

V型电热硅微致动器性能及其应用研究

微致动器是微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的重要组成部分,用于构成其中的驱动或执行单元,担负着微系统内能量转换、运动和力的传递及对系统信息进行响应等功能。本论文以V型电热硅微致动器为研究对象,针对其设计、理论建模、性能分析、试验测试及其应用等展开研究。采用表面硅牺牲层工艺和体硅腐蚀工艺分别设计、制造了具有不同结构参数的V型电热微致动器,经过几次版图设计和流片制作,积累了两种工艺条件下硅微机构设计方面的经验。并通过试验建立了几种微机械性能参数测试方法,并据此对V型电热硅微致动器的一些静态和动态性能参数进行了测试。通过变形能法和力法建立了结果一致的V型电热硅微致动器的静态力学模型,并从力学、电学和热力学的基本原理出发,推导出了V型电热硅微致动器力-电-热耦合的静态模型。致动器静态特性的分析结果表明,V型电热硅微致动器的静态输出力与其输出位移呈线性反比例变化关系,而与硅微梁加热温  (本文共119页) 本文目录 | 阅读全文>>

《光学精密工程》2013年12期
光学精密工程

斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验

为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程。对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型。然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出位移的理论值,得到了一致性很好的结果。最后,分析了微致...  (本文共7页) 阅读全文>>

《传感技术学报》2007年01期
传感技术学报

微致动器在流动控制中的应用研究

基于MEMS技术,研制了一种微气泡型致动器.对前缘布置有微致动器的三角翼进行了数值模拟和风洞实验,结果表明:微致...  (本文共4页) 阅读全文>>

《航空学报》2000年01期
航空学报

电流变柔性微致动器驱动电源的研究

针对电流变柔性微致动器所用的驱动电源,在理论上探讨了采用交流或直流供电方式的特点,并以此为基础设计了驱动...  (本文共3页) 阅读全文>>

燕山大学
燕山大学

电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究

微致动器(Microactuator)是微机电系统(MEMS)实现物理功能的关键器件,是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中,先进的CAD系统己有效地用于集成电路的设计与仿真。但它们中的大部分却不适用于微致动器的设计。由于微致动器是复杂的微机电系统,长期以来微致动器的设计不得不通过直接制造原型的方法来验证设计,因此对于微致动器多能量域建模和模拟仿真技术正在不断研究与探索。电热微致动器是一种用途广泛的典型电—热—机械的多能量域集合器件,研究电热微致动器的多能量域建模和数值模拟,具有重要的理论意义和应用价值。本文主要研究工作如下:(1)结合多学科知识,对双热臂电热微致动器进行多能量域数学建模,用解析方法分析其温度分布和位移特性;(2)利用ANSYS建立双热臂电热微致动器的有限元模型,对其进行仿真分析,并与解析模型所得结果进行比较;利用ANSYS的内部命令和APDL语言以及参数化技术建立双热臂电热微致动器的有限元参数化模型,研究温度...  (本文共89页) 本文目录 | 阅读全文>>

《纳米技术与精密工程》2008年01期
纳米技术与精密工程

微致动器用于翼面流场主动控制规律研究

面向主动流动控制研发了气泡型微致动器及其阵列技术和MEMS合成射流器技术.对气泡型微致动器参与下的飞行器翼面流场进行了数值模拟,并结合翼型开展了风洞实验,研究了...  (本文共5页) 阅读全文>>