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蒸发制备金属薄膜实现MEMS工艺中电互连

介绍了利用蒸发方法制备金属薄膜来实现MEMS工艺中的互连,采用剥离方法制作金属互连柱。分别在剥离层为双层AZ5214负胶、聚酰亚胺(ZKPI-305II  (本文共4页) 阅读全文>>

《微纳电子技术》2005年04期
微纳电子技术

微细电火花加工MEMS器件技术关键分析

微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加...  (本文共8页) 阅读全文>>

《测控技术》2005年07期
测控技术

基于MEMS微带天线带宽和辐射特性的分析研究

随着微带天线在军事和商业领域内迅速发展,微带天线的频带窄以及辐射效率低成为制约其发展的两大“瓶颈”,...  (本文共3页) 阅读全文>>

《力学进展》2005年03期
力学进展

基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展

流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发,微型流量传感器已...  (本文共16页) 阅读全文>>

《传感器技术》2005年01期
传感器技术

MEMS粗真空传感器研制

设计了硅基MEMS粗真空传感器及其工艺流程,分析了MEMS粗真空传感器的工作原理和过程,制作了MEMS粗真空传感器...  (本文共2页) 阅读全文>>

《新技术新工艺》2005年01期
新技术新工艺

MEMS中的微组装技术

随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微组装技术的需求日益迫切。介绍了微器件组...  (本文共4页) 阅读全文>>