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单悬臂梁结构的GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器(英文)

成功研制了GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器.该器件采用单悬臂梁结构,在6V的小调谐电压下,获得了31n  (本文共7页) 阅读全文>>

《仪表技术与传感器》2019年10期
仪表技术与传感器

MOEMS器件的硅微透镜阵列制造工艺

开发了一种适于MOEMS器件的基于硅微加工技术的简易的硅微透镜阵列制造工艺。通过光刻胶热熔法与ICPRIE(感应耦合等离子反应离子刻蚀)相结合的方式,实现在硅晶圆上批...  (本文共3页) 阅读全文>>

电子科技大学
电子科技大学

光纤MOEMS声波传感机理与器件研究

光纤声波传感器由于具有体积小、抗电磁干扰、低传输损耗、耐腐蚀和安全可靠等优良特性,自1970年代首次出现以来,已经被广泛研究。另一方面,MEMS声波传感器也已被广泛报道并用于声学检测。采用MEMS工艺加工的产品具有体积小、重量轻、集成度高和易批量生产等优点。利用MEMS加工技术可以在单个硅片上集成微型声波传感器,相比传统电学声波传感器,它具有器件集成度高以及功耗低等优点。但现有的MEMS声波传感器主要是基于电容信号检测原理,传感器灵敏度较低且容易受到外界电磁干扰,这严重制约了MEMS声波传感器在高灵敏度声学检测和极端环境下的应用。本论文将MEMS声敏感元件与光纤法布里-珀罗(F-P)结构结合起来实现了一种高灵敏度声信号检测结构。MEMS声敏薄膜的声压检测灵敏度高,其结构可灵活设计,制备工艺的一致性好,结合光纤F-P光学信号检测方法可以实现对微弱声压信号的有效探测,并且该光纤声波传感结构具有无源性和抗电磁干扰的特点,在一些极端环境...  (本文共66页) 本文目录 | 阅读全文>>

《重庆文理学院学报(自然科学版)》2007年06期
重庆文理学院学报(自然科学版)

基于MOEMS技术光开关的研究与进展

光开关是光通信网络的重要功能器件,基于MOEMS技术的光开关是最具发展前景的光开关之一.本...  (本文共4页) 阅读全文>>

《北京航空航天大学学报》2006年11期
北京航空航天大学学报

MOEMS陀螺的谐振腔设计

微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了...  (本文共4页) 阅读全文>>

《光通信技术》2004年04期
光通信技术

国内MOEMS光开关的研究现状

阐述了国内MOEMS光开关的研制现状,列举了国内正在...  (本文共4页) 阅读全文>>