薄膜多层布线工艺分析

薄膜多层布线工艺，采用聚酰亚胺作介质，克服成膜后  (本文共4页) 阅读全文>>

微纳电子技术

业界快讯

NEC开发32nm逻辑LSI多层布线技术NEC和NEC电子开发...  (本文共3页) 阅读全文>>

半导体技术

扫描电镜在多层布线技术中的应用

论述了扫描电镜技术在ＶＬＳＩ多层布线技术中的应用。扫描电镜技术为层间介质膜的制备、介质...  (本文共4页) 阅读全文>>

微电子技术

AT&T开发的0.35μm工艺器件内部多层布线技术

AT＆T贝尔研究所开发评价了0．35μm工艺器件的多层内部布线新技术。本技术内容为：介质股平坦化用的光致抗蚀剂背腐蚀，...  (本文共1页) 阅读全文>>

半导体技术

集成电路中的多层布线技术

本文参考了国外近期一些有关资料,结合实际经验,对国外目前多层布...  (本文共7页) 阅读全文>>

微电子学

铬-银系多层布线

1.前言在设计集成电路、大规模集成电路时,关系到简便化、高速化及器件的超高密度的多层布线的研...  (本文共4页) 阅读全文>>