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真空微电子学的新发展

本文描述了正在兴起的一门新学科——真空微电子学——的发展概况,它的工作原理,微  (本文共8页) 阅读全文>>

《真空电子技术》1991年05期
真空电子技术

真空微电子学展望

目前正在利用微米大小的微小冷阴极,开始试制微细而能集成的真空管或高精细平板显示器件等。这些试验的目的是利用半导...  (本文共5页) 阅读全文>>

《半导体情报》1992年04期
半导体情报

一种新兴学科真空微电子学——第三届国际真空微电子学会议上的发言

1 引言正如人们所知,第一次引用“真空微电子学”这个术语是在1988年VA威廉斯堡召开的第一届国际会议上。它被定义为与电子在真空中输运的各种器件有关的一种新技术,而且随着固体器件工业的发展,还采用了现代微细加...  (本文共8页) 阅读全文>>

《电子器件》1992年01期
电子器件

真空微电子学的崛起

近年来,真空微电子学的发展引人瞩目,它的应用十分广泛,普遍认为真...  (本文共4页) 阅读全文>>

《电子器件》1992年03期
电子器件

真空微电子学:崭新而激动人心的领域

1 引言 女士们,先生们。很荣幸能在第三届国际真空微电子学年会上发表演说。众所周知,“真空微电子学”这个名词起源于 1988年在美国弗吉尼亚州威廉斯堡举行的第一届国际会议。它是一种基于真空电子输运器件的新技术,且利用了固态器件工业已建立的微细加工工艺。因为真空是...  (本文共10页) 阅读全文>>

《云南大学学报(自然科学版)》1992年S1期
云南大学学报(自然科学版)

真空微电子学与微波毫米波器件

早在40年代,K.R.Shoulders就提出了真空微电子器件的一些新设想.1961年发表了真空微电子器件的系统的论证文章.其后SRI开展了系统的研究工作,直到 1988年6月在美...  (本文共4页) 阅读全文>>