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热丝化学气相沉积法低温制备纳米晶态碳化硅薄膜(英文)

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术以甲烷(CH4)和硅烷(SiH4)作为源反应气体在Si(111)衬底上合成了纳米晶态SiC薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(  (本文共4页) 阅读全文>>

《中国教育技术装备》2003年04期
中国教育技术装备

神奇的力量——纳米塑胶

纳米技术作为人类二十一世纪的三大基本战略技术,对人类认识世界,构造特定功能的产品具有革命性的意义。纳米...  (本文共1页) 阅读全文>>

《材料科学与工程学报》2003年04期
材料科学与工程学报

我国纳米科技的现状与展望

本文概述了纳米科技的沿革 ,及其在国内外...  (本文共6页) 阅读全文>>

《机械工程学报》2003年10期
机械工程学报

纳米表面工程的进展与展望

表面工程经历了传统表面工程、复合表面工程、纳米表面工程三个发展阶段。获得纳米表面层的基本途径是表面气相沉积法、表面自身纳米化法和表面纳米涂覆法。目前已进入实用阶段的纳米表面工程技术有纳米热喷涂技术、纳米电刷镀技术、纳米减摩自修复技术、纳米周...  (本文共6页) 阅读全文>>

《科技进步与对策》2003年S1期
科技进步与对策

纳米TiO_2的结构性能及其应用

纳米TiO2 以其独特的结构和优异的性能 ,得到人们的...  (本文共2页) 阅读全文>>

《光机电信息》2003年11期
光机电信息

纳米光刻特征图案软件

加拿大AsylumResearch公司的MicroAngelo软件是一种新上市的先进纳米光刻控制特征图案软件 ,可用于As...  (本文共1页) 阅读全文>>