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类金刚石薄膜的微结构及其电学性质的研究

通过透射-反射谱、红外光谱表征了类金刚石a—C:H:N薄膜微结构与氨含量的关系。实验结果表明,随N2/Ar气体流速比  (本文共3;页) 阅读全文>>

《物理学报》1990年60期
物理学报

类金刚石薄膜的性质、应用及制备

介绍了类金刚石薄膜的结构特征,并详细讨论了采用物理化...  (本文共3;页) 阅读全文>>

《微细加工技术》1990年10期
微细加工技术

用过滤式电弧沉积系统制备类金刚石薄膜

介绍一种可用于沉积类金刚石薄膜的过滤式真空电弧沉积系统,研究了利用该系统制备的类金刚石薄膜的Raman光谱测试结果。实验表明,所设计的系统能可靠地触发并运行10...  (本文共3;页) 阅读全文>>

《陶瓷学报》2019年02期
陶瓷学报

不同比例钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响

为研究钛掺杂对类金刚石薄膜性能的影响,采用磁控溅射制备不同比例钛掺杂类金刚石膜,并通过扫描电镜(SEM)、X-ray光电子谱仪、拉曼光谱仪(Roman)以及洛氏硬度压痕仪等设备对类金刚石薄膜的微观形貌、厚度、sp~2-C与sp~3-C比例、结合强度以及内应力等性能进行...  (本文共6页) 阅读全文>>

《河北科技大学学报》2017年03期
河北科技大学学报

基底对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响

为了研究不同基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响,采用等离子体增强化学气相沉积方法在高速钢、SiC和304不锈钢基底上成功制备了类金刚石薄膜。采用SEM,TEM,Raman测试手段对膜层的微结构进行了表征:SEM表征结果显示膜层总厚度约为6.5μm,而且层与层之间有明显的界面;TEM表征结果显示沉积的膜层为无定...  (本文共5页) 阅读全文>>

《材料导报》2016年01期
材料导报

类金刚石薄膜残余应力的研究进展

类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余...  (本文共5页) 阅读全文>>