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氢和硼离子轰击可消除(001)面多晶金刚石膜的空位缺陷(英文)

在微波等离子体化学气相沉积金刚石膜时, 采用负偏压使氢和硼离子轰击金刚石膜表面。 发现单纯的氢离子的轰击会导致表面刻蚀,可使 (001)面颗粒尺寸增大。用扫描电镜( SEM)和阴极 发  (本文共5页) 阅读全文>>

《压电与声光》2001年03期
压电与声光

金刚石膜SAW器件

Sumitomo Electric USA Inc.推出的 SAW器件采用了金刚石薄膜以提高 SAW速率 ,从而实现石英所不能达到的 2~ ...  (本文共1页) 阅读全文>>

《粉末冶金工业》2001年01期
粉末冶金工业

金刚石膜的制备及应用面市

吉林大学科技人员经过数年的攻关 ,完成了“金刚石膜的制备及应用”课题 ,受到社会关注。金刚石膜具有高硬度...  (本文共1页) 阅读全文>>

《智库时代》2019年33期
智库时代

金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展

金刚石膜以及类金刚石膜在光学元件的保护中有着重要的作用,金刚石膜以及类金刚石膜的特性决定了他们的使用方式,由于这两种膜的高硬度、低摩擦系数、高稳定性,所以在光...  (本文共2页) 阅读全文>>

《黑龙江科技信息》2015年03期
黑龙江科技信息

金刚石膜的高温氧化性能的研究

在CH4/H2气氛下,利用直流热阴极PCVD(Plasma chemical vapor deposition)设备制备的金...  (本文共1页) 阅读全文>>

《真空科学与技术学报》2012年10期
真空科学与技术学报

无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨

无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力的相关问题进行了初步探讨...  (本文共5页) 阅读全文>>