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大面积平整金刚石薄膜的制备(英文)

用热丝 CVD的方法在 3英寸的硅衬底上生长均匀的金刚石薄膜, 应用了在热丝上方加石 墨电极,在形核阶段相对于热丝施加一直流负偏压的预处理  (本文共4页) 阅读全文>>

《功能材料与器件学报》2001年03期
功能材料与器件学报

陶瓷氧化铝-金刚石薄膜复合材料的研究(英文)

以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体,用热丝 CVD法在 Al2O3陶瓷基片上沉积出 金刚石薄膜 ,用拉曼光谱, X...  (本文共4页) 阅读全文>>

《武汉化工学院学报》2004年03期
武汉化工学院学报

硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响

在热丝 CVD装置中 ,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料 ,在 YG6上制备了含硼金刚石薄膜 .研究丙酮中硼含量对...  (本文共3页) 阅读全文>>