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国内MOEMS光开关的研究现状

阐述了国内MOEMS光开关的研制现状,列举了国内正在  (本文共4页) 阅读全文>>

中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)

MOEMS光开关阵列芯片的研究

快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面,全光网络的发展依赖于光开关技术的进步。过去几年间,各种各样的技术被用于光开关的研究。和其他技术相比,MOEMS 光开关技术显示了无法比拟的技术优势。因此基于MOEMS技术的光开关将成为下一代全光通信网络的关键光器件。首先,从光开关在全光网络的应用出发,比较了各种光开关技术的性能。基于MOEMS 技术的光开关和其他技术类型的光开关相比显然具有更多的优良性能,例如波长透明和偏振无关等。叙述了国内外目前为止MOEMS 光开关技术的发展现状。提出了一种基于静电驱动和垂直微反射镜技术的MOEMS 光开关。其次,分析了光开关微反射镜的反射特性,然后推导了归一化的光开关静电驱动结构力矩平衡特性方程。另外,讨论了各个静电驱动结构参数对驱动电压的影响。随后,计算了光开关的固有频率,并且分析了光开关的开关速度。第三,使用MSC Patran 有限元软件对静电驱动结构进行了建模,并利用有限元分析了各部分的...  (本文共77页) 本文目录 | 阅读全文>>

《衡水学院学报》2009年04期
衡水学院学报

基于MOEMS技术的光开关研究

微光机电系统(MOEMS)技术是全光网络光开关的关键技术,在光通信器件研究中的应用能极大提高光通信器件的研发水平.为此,主...  (本文共4页) 阅读全文>>

中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)

微光机电器件及其关键技术研究

最近几年来,微电子机械系统(MEMS)逐渐向光学方面渗透,在二十世纪九十年代中后期形成了全新的技术领域—微光机电系统(MOEMS)。微光机电器件是MOEMS的基本组成单元,微制作技术是MOEMS的技术基础。本论文在国家自然科学基金、国家863计划、国家973计划、吉林省科技发展计划等资助下对MOEMS器件及其关键技术进行了研究探讨。用于X射线波段的微小光学器件是MOEMS典型器件之一。在第二章X射线聚焦组合透镜的研究中,针对X射线波段的特性,综合考虑折射和吸收效应得出组合透镜的衍射屏函数,利用衍射理论推导出X射线聚焦组合透镜的设计理论并进行结构设计与微细加工制作技术研究。MOEMS可动器件是MOEMS器件的又一典型类型。论文用三章的篇幅分别对微型可调谐红外滤光器、8×8 MOEMS阵列光开关等可动器件及作为MOEMS可动器件驱动源的微型电磁驱动器进行了探索。首先通过对微型可调谐光栅的理论分析,设计了电磁驱动的微型可调谐红外滤光器...  (本文共130页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)

8×8 MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及实验研究

随着现代社会对信息传输容量和速度要求的不断提高,人们对现有的通信体系提出了更高的要求。光纤通信由于具有许多优点,如巨大的传输带宽、极低的传输损耗以及抗强电磁干扰等而得以快速发展。随着光纤通信技术的进步和密集波分复用(DWDM)系统的应用,全光交换已经成为当前光网络的发展趋势。光开关是全光交换的关键器件,MOEMS 光开关由于具有潜在插入损耗和串扰低、消光比高、与波长和偏振无关等诸多优点而成为光网络中光交叉连接(OXCs)和光分插复用器(OADMs)的主流器件。准直、耦合技术是MOEMS 光开关阵列的一项关键技术。本论文首先对8×8MOEMS 光开关中高斯光束在自由空间中的传输规律和开关中的激光光路进行了分析;对单模光纤的模式理论和直接耦合方式进行了探讨;对采用球透镜准直耦合的方式进行了分析计算,得出了需要的数据,并在此基础上完成准直耦合系统的设计。其次,研究了单晶硅的结构和各向异性腐蚀特性,并针对(100)单晶硅各向异性腐蚀中的...  (本文共77页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)

MOEMS光开关封装的设计与制作

全光网络解决了目前光电交换的瓶颈,光开关是实现全光网络中的关键技术之一。MOEMS光开关技术以其无法比拟的技术优势,将可能在下一代全光通信网络中起到主导地位。本论文正是围绕光开关的封装工作展开的,主要有以下四部分内容:首先,了解了光开关的发展进程,以及目前各种光开关的现状。其次,理论上研究了单模光纤激光高斯光束的传输特性;分析了球透镜(C-lens)准直器和自聚焦透镜(Grin-lens)准直器的工作原理;计算了球透镜准直器准直效果与束腰半径、束腰位置以及光纤和透镜端面之间的关系;在考虑光束直径、工作距离、数值孔径N.A等参数的基础上,设计了光路准直、耦合系统。接下来研究了硅的各向异性腐蚀特性;探讨了不同腐蚀溶液以及同一腐蚀液不同实验条件的区别;总结了腐蚀深度与腐蚀时间的关系;摸索了具体实验条件;解决了掩膜选择、凸角损伤等问题;制备了符合要求的准直、耦合封装系统。最后,分析了影响光开关插入损耗的主要因素,并采用了相应的解决措施。  (本文共83页) 本文目录 | 阅读全文>>