分享到:

真空微电子压力传感器的研制

提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器。对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能  (本文共5页) 阅读全文>>

《微电子学》2001年02期
微电子学

一种新型真空微电子压力传感器的研制

采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅 -硅键合技术 ,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明 ...  (本文共4页) 阅读全文>>

重庆大学
重庆大学

真空微电子压力传感器的研究

压力是过程自动化五大参量中的首要参量,作为压力信息获取的核心元件的压力传感器,在石油、化工、冶炼、电力、仪器仪表、机械、汽车、智能结构、航空航天、国防等领域中是必不可少、量大面广的基础元件,它已经成为现代信息技术的重要组成部分,在当代科技领域中占有十分重要的地位。特别是自从80年代末微型电子机械系统(MEMS)技术的崛起,从根本上改变了许多传统压力传感器的设计思想和制造方法,为压力传感器的微型化、集成化、智能化的研究提供了新的技术基础。现在,世界各国已将探索集成化、新原理、新结构、新功能、高性能的压力传感器及系统作为研究开发压力传感器的重点。本文在重庆市科技“十五”项目的资助下,提出利用微电子技术、MEMS技术和真空电子技术相结合的方法,研究一种带过保护功能的真空微电子压力传感器,该压力传感器由带过保护的场致发射阴极锥尖阵列、弹性阳极膜、绝缘层、真空微腔所构成,具有温度稳定性好、抗辐射、快响应、高灵敏、体积小、二次仪表简单、可批...  (本文共68页) 本文目录 | 阅读全文>>

《现代电子技术》2004年21期
现代电子技术

培养具有微电子思想的IC设计人才

~~培养具有微电子思想的IC设计人...  (本文共1页) 阅读全文>>

《大学教育》2020年07期
大学教育

关于现阶段国家示范性微电子学院建设的几点思考——以浙江大学微电子学院为例

文章浅述了国家示范性微电子学院的建设背景及历程。借鉴示范性软件学院建设经验并结合现阶段浙江大学示范性微电子学院建设...  (本文共4页) 阅读全文>>

《财会学习》2016年23期
财会学习

华润微电子5C价值型财务管理探讨

华润微电子是华润集团下属的从事集成电路研发、生产的高科技企业。本文从华润集团5C价值型管理...  (本文共2页) 阅读全文>>

《电化教育研究》1987年02期
电化教育研究

世界一些国家在教育中利用微电子计算机的状况

近年来,世界上许多国家对在教育中利用微电子计算机非常关心。一些国家由政府统一计划,实行一系列利用微电子计算机的政策。现将欧洲共同体教育研究革新中心(...  (本文共2页) 阅读全文>>