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非晶金刚石薄膜的X射线反射研究

利用过滤阴极真空电弧系统制备了不同衬底偏压下非晶金刚石薄膜,分别采用X射线反射法测定了相应的非晶金刚石膜密度,分析了薄膜密度与沉积能量之间的变化规律,建立了薄膜密度随衬底偏压的变化曲线。研究发现在-80  (本文共5页) 阅读全文>>

《金属学报》2005年04期
金属学报

热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析

根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场 的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对...  (本文共7页) 阅读全文>>

《江汉石油科技》2010年02期
江汉石油科技

浅谈CVD金刚石薄膜技术

简单介绍了CVD金刚石薄膜技术发展、金刚石薄膜的制备有物理气相沉积法(PVC)和化学气相沉积法(CVD)两类。通...  (本文共3页) 阅读全文>>

《国际学术动态》1996年07期
国际学术动态

人们努力开发金刚石薄膜和其他功能材料

笔者于1995年8月在美国参加了第3届金刚石薄膜及相关材料应用会议,并作为国际10个实验室联合测试的参加者参加了金刚石薄膜热...  (本文共1页) 阅读全文>>

《超硬材料工程》2019年06期
超硬材料工程

掺硼金刚石薄膜的制备与研究

采用微波等离子体化学气相沉积技术在单晶硅、钛、钼、铌、钽基体上制备掺硼金刚石薄膜。分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪、四探针电阻率测试仪研究其物相组成、表面形貌、晶体结晶性和电阻率。硼原子代替碳原子进入金刚石晶格中,产生更多的缺陷形核中心...  (本文共5页) 阅读全文>>

《金刚石与磨料磨具工程》2019年04期
金刚石与磨料磨具工程

硼及其协同掺杂金刚石薄膜的研究

在金刚石中掺入杂质元素会在保留其原有优良性能的基础上获得其他性能,如掺入硼元素可以使金刚石成为P型半导体;协同掺杂其他元素...  (本文共8页) 阅读全文>>