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X模耦合微波的ECR溅射装置的放电特性

探讨采用真空波导及反常波模式(X模)微波输入技术,  (本文共3;页) 阅读全文>>

《华南师范大学学报(自然科学版)》2009年02期
华南师范大学学报(自然科学版)

微波电子回旋共振等离子体放电特性研究

为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等...  (本文共5页) 阅读全文>>

《核聚变与等离子体物理》2012年03期
核聚变与等离子体物理

电极环对离子加热温度的影响

在非对称磁镜场微波ECR等离子体中引入了磁电加热系统,研究了电极环大小、轴向位置以及双环加热对离子温度的影响。结果表明,大小合适的电极环能有效提高离...  (本文共5页) 阅读全文>>