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零位光栅的栅线设计

本文简述了零位光栅的特点,对零位栅线的  (本文共5页) 阅读全文>>

合肥工业大学
合肥工业大学

二维编码式零位光栅结构的研究

随着微电子产业和纳米加工技术的发展,对测量精度的要求越来越高,大多数精密平台选用了精度高的光栅作为位移测量系统。由于光栅属增量式测量,自身没有零位,为了提高测量精度,必须对它进行误差修正,要求其具有固定零位,多年来很多学者一直在研究精密光栅零位的实现方法。近年来随着二维光栅的快速发展,二维编码式零位光栅成为研究的热点。本论文针对大行程精密平台研究了一种新型结构的二维编码式零位光栅,通过其二维方向上的特殊编码产生一个表征绝对零位的最大脉冲,快速实现光栅测量系统的绝对测量。由于本文所研究的二维编码式零位光栅相对于传统的定位装置,精度高稳定性好,有着广泛的应用空间。本课题来源于国家自然科学基金重大国际合作项目“纳米三维测量关键技术与系统研究”,归纳起来,本论文的主要内容及研究成果如下:(1)研究了随机编码式二维零位光栅的光通量特性,通过计算机仿真对光栅编码进行了优化设计。(2)确定了二维编码式零位光栅系统的结构,并研制了实验装置。(3...  (本文共65页) 本文目录 | 阅读全文>>

重庆大学
重庆大学

计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究

高精度计量圆光栅,是近代光电测角仪器和测角技术的重要基础元件。以计量圆光栅为核心部件组成的光电传感器,可将输入的机械量转换成相应的数字量,与数显装置或计算机连接构成测量、控制系统,易于实现机器及仪器的自动测量、数字测量与数字控制,其应用正向着更加广泛的领域渗透。论文首先简述了计量圆光栅技术的发展历史,在此基础上对计量圆光栅技术在角度数字测量、运动比较测量、传动轴的扭转角测量等方面的应用,计量圆光栅的制造、检测及精度评定和测量系统所涉及的关键技术以及计量圆光栅的发展动向作了综述性的分析与评论,从而引出了论文的主要研究内容,即计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究。论文对光栅莫尔条纹形成的几何原理进行了简要介绍;对计量圆光栅莫尔条纹方程、莫尔光场和几种典型的圆光栅莫尔条纹进行了概述;对计量圆光栅及测量系统的关键问题进行了分析、比较与讨论,对计量圆光栅及测量系统的判向信号及判向电路设计进行了讨论;对圆光栅测量系统莫尔信号的光电转换以及光...  (本文共176页) 本文目录 | 阅读全文>>

《光学仪器》1986年05期
光学仪器

零位光栅栅线的动态优化设计

本文详细分析了零位光栅设计要求,各参数之间的关系,在此基础上得出了零位光栅设计准则及优化设计的数学模型。並指出其设计问题属大范围的、离散...  (本文共9页) 阅读全文>>

南京理工大学
南京理工大学

基于双光栅干涉技术的焦距测量系统设计及其关键技术研究

焦距5-80m的中长焦距光学透镜和光学系统在天文望远镜、空间光学系统、激光约束核聚变装置等系统中有着十分广泛的应用及前景。本文研究的基于双光栅干涉的中长焦距高精度测量技术是光学测试领域的研究热点之一。首先研究了双光栅干涉光强分布和双光栅衍射成像特性,在此基础上分析了基于双光栅干涉效应的焦距测量原理,根据测量原理和测试过程推导优化了计算公式,减小了入射波面误差和干涉条纹零位误差对焦距测量的影响。设计了基于准直光源、双光栅干涉仪和成像采集系统的中长焦距测量系统,其焦距测量范围可达5-80m,测量口径Φ100mm。分析系统的焦距测量范围、焦距测量灵敏度和相对测量误差,设计各项系统参数。重点分析了干涉条纹零位误差、干涉条纹倾角误差和双光栅干涉仪栅线夹角误差等的大小及其对焦距测量的影响。采用零位干涉条纹判读法结合高精度电控角位移台对双光栅干涉系统进行装调,提出基于焦距测量函数相似度的焦距非相关最小二乘定标方法,消除了定标用透镜的焦距误差对...  (本文共76页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)
中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)

高精度标定转台光栅测角系统关键技术研究

本文论述的测试转台是标定测绘相机用的高精度、高稳定性、大尺寸、大载荷的复杂精密机电设备,为了实现精确定位我们研制了高精度光栅测角系统。本文以实际的工程项目为基础,对光棚测角系统的关键技术包括光机结构系统、电子学、精度分析和检测、误差补偿等方面进行了深入研究和探i、J。论文论述了光栅测角系统的基础理论、光栅信号主要质量指标以及对光栅信号质量产生影响的因素、光栅信号质量的检定方法,对测角系统的误差进行了理论分配来指导系统设计,为了有效提高测角精度并降低成本,研究了误差的软件补偿方法。论文分析了光机结构系统的关键技术:轴系采用高精度、高稳定性的密珠轴系;主光栅采用大直径薄光栅;采用指示光栅的多缝读数配合多头读数,减少光栅分度误差的长、中、短周期误差;采用四读数头全数字量相加技术,减小了光栅盘的偏心误差,降低了对装调的苛刻要求。论文对测角系统的轴系晃动误差、光栅盘分度误差、细分误差等进行了分析,并对轴系晃动误差和光栅盘分度误差进行了检测...  (本文共155页) 本文目录 | 阅读全文>>