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集成电路制造用溅射靶材绑定技术相关问题研究

集成电路制造用溅射靶材的绑定技术,又称焊接或粘接技术,是溅射机台设计和制造工程师、溅射靶材开发生产工程师、以及集成电路制  (本文共6页) 阅读全文>>

《物理》1987年04期
物理

离子溅射(Ⅱ)

三、合金和化合物的溅射[2,21-23]1.择优(preferential)溅射现象 对合金、化合物的溅射与前面所...  (本文共10页) 阅读全文>>

权威出处: 《物理》1987年04期
《上海金属.有色分册》1989年06期
上海金属.有色分册

上海有色所溅射靶研制有了新发展

上海有色金属研究所第四研究室,利用自身科研优势,从84年至今,在溅射靶研制方面,从单一品种...  (本文共1页) 阅读全文>>

《真空技术报导》1973年03期
真空技术报导

溅射装置

一、前言 浏览一下从创刊号至今的全部“真空”、第8卷(1965)登载了溅射原理方面的解说论文,如果溅射离子泵不算在内...  (本文共18页) 阅读全文>>

《防腐包装》1980年01期
防腐包装

溅射镀及其应用

溅射镀技术在最近几年获得了显著进展和广泛应用,本文介...  (本文共11页) 阅读全文>>

《防腐包装》1980年01期
防腐包装

溅射镀及其应用

溅射镀技术在最近几年获得了显著进展和广泛应用,本文介...  (本文共11页) 阅读全文>>