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热丝CVD法变压沉积金刚石薄膜

在热丝化学气相沉积系统中,采用变压  (本文共3页) 阅读全文>>

《吉林大学自然科学学报》1997年03期
吉林大学自然科学学报

微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜

采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在CH4/H2,CO/H2和(CH4+CO)/H2气体体系下合成了金刚石...  (本文共3页) 阅读全文>>

《自然科学进展》1996年03期
自然科学进展

超细颗粒流态化CVD包覆研究进展及面临的重要课题

近年来,超细颗粒材料逐渐成为世界各国研究与开发的热点。介于宏观物体与微观粒子之间的超细颗粒,不仅开辟了人类认识世界的新层次,而且已成为许多高新技术赖以发展的材料基础。正如钱学森所说:“超细颗粒结构将是下一个阶段科技发展的一个重点,会是一次革命,从...  (本文共6页) 阅读全文>>

《红外与激光工程》2020年02期
红外与激光工程

激光偏振拉曼的CVD多晶石墨烯表征

石墨烯具有优异的物理化学性质,在MEMS器件、光电检测材料、柔性显示屏、新能源电池、复合材料等方面成为研究热点。目前大面积石墨烯制备主要依赖于化学气相沉积技术(chemical vapor deposition, CVD),但其生长的晶体质量直接影响到电化学特性和实际应用,因此需要一种快速...  (本文共7页) 阅读全文>>

《表面技术》2020年10期
表面技术

CVD金刚石表面增透膜的研究进展

CVD金刚石膜因特有的物理化学性质,具有发展成为新一代光学材料的前景。但由于CVD金刚石膜自身局限性导致其理论透过率不到71%,在金刚石膜表面镀制增透膜,通过改变增透膜组成成分、显微组织和晶体结构,可有效地改善CVD金刚石膜自身理论透过率的问题。首先,介绍了CVD金刚石表面镀制单层增透膜增透原理,并总结了物理和化学气相沉积技术制备增透膜的优缺点。然后...  (本文共12页) 阅读全文>>

《人工晶体学报》2019年10期
人工晶体学报

CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

以CH_3COCH_3和H_2为反应气源,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用X射线衍射分析YG6硬质合金表面沉积金刚石涂层物相...  (本文共7页) 阅读全文>>