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热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析

研究了热丝CVD法金刚石薄膜本征内应力随甲烷的体积分数(04%~12%)、生长温度(800℃~1000℃)等生长工艺参数的变化关系。在所研究的  (本文共3;页) 阅读全文>>

《红外与激光工程》2020年02期
红外与激光工程

激光偏振拉曼的CVD多晶石墨烯表征

石墨烯具有优异的物理化学性质,在MEMS器件、光电检测材料、柔性显示屏、新能源电池、复合材料等方面成为研究热点。目前大面积石墨烯制备主要依赖于化学气相沉积技术(chemical vapor deposition, CVD),但其生长的晶体质量直接影响到电化学特性和实际应用,因此需要一种快速...  (本文共7页) 阅读全文>>

《人工晶体学报》2019年10期
人工晶体学报

CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

以CH_3COCH_3和H_2为反应气源,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,通过改变样品台的旋转频率在YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用X射线衍射分析YG6硬质合金表面沉积金刚石涂层物相...  (本文共7页) 阅读全文>>

《功能材料》2017年06期
功能材料

过渡金属表面CVD石墨烯的生长机理研究进展

石墨烯由于其独特的优异性能逐渐成为新材料领域的研究热点。在石墨烯的各类制备方法中,CVD法已然成为大面积石墨烯制备的主流方法。与铜表面形...  (本文共7页) 阅读全文>>

《江苏科技信息》2016年01期
江苏科技信息

国外CVD法制备石墨烯的创新研究

兼具多种出色性能的神奇材料石墨烯,在传感器、透明触摸屏、光板、太阳能电池等诸多领域具有广泛的潜在应用,甚至有可能成为航空、航天、汽车...  (本文共4页) 阅读全文>>

《炭素技术》2014年03期
炭素技术

以CVD法在介电材料上直接生长石墨烯的研究进展

石墨烯自2004年被文献报道后,便以其独特的结构和优异的性能,引起了研究者的巨大兴趣。以CVD法在金属衬底生长石墨烯是目前最常用的石墨烯制备...  (本文共5页) 阅读全文>>