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金刚石薄膜气相外延生长

本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石  (本文共5页) 阅读全文>>

《中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)》1993年09期
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)

气相外延生长单晶金刚石薄膜

本文用氢气、丙酮做为气体源,通过微波增强的化学气相沉积方法,在人造金刚石的,及晶面上实现了气相外延生长。通过扫描电子显微分析,观察到了...  (本文共6页) 阅读全文>>