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介质表面形貌对射频微机械开关隔离度的影响

针对粗糙介质表面造成射频微机械(RF M EM S)开关隔离度衰减的问题,设计了一个双桥电容式RF M EM S开关,分别采用金属A u和A l作为开关的下电极,以S iN作为电容介质制备了样品。微  (本文共4页) 阅读全文>>

中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)

基于硅衬底的新型射频微机械开关

射频开关是射频通信网络中最基本的器件之一,本文提出了一种新型基于硅衬底的新型射频微机械丌关,介绍了射频微机械开关的设计原理和器件结构,提出了器件的近似力学分析模型,分析和优化器件的插入损耗和驱动电压参数,介绍了器件的制作工艺,最后给出器件的测试结果。具体内容包括:介绍了各种射频微机械器件,特别是射频微机械开关。通过与其他传统射频开关的比较,总结了射频微机械开关具有结构简单、插入损耗小、工艺容差大、有利于降低成本和提高成品率等优势。基于此,我们在设计中采用了静电驱动式射频微机械开关结构。详细分析了插入损耗与器件结构的关系,在此基础上提出了新型的射频传输线基于可动膜射频微机械开关的结构。通过大幅度的减小射频传输线的陈底厚度,可以达到降低插入损耗的目的。为了实现射频传输线的薄衬底结构,根据共面波导的设计思想,设计了腔体式共面波导型射频微机械开关。给出了器件制作的完整的工艺流程,重点介绍了牺牲层的填充以及平整化等器件制作的关键微机械表面...  (本文共56页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)

新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究

本论文提出一种结构新颖的静电驱动、电容旁路式RF MEMS开关,利用双端固支薄膜在大于临界应力时的翘曲原理实现锁存功能。其特点是,当没有控制电压作用时,开关保持原有状态,即可以实现常开、常闭功能。首先,详细地讨论了器件的机械设计和电学设计。分析了氮化硅/金复合膜的横向翘曲特性。有限元分析表明驱动电压随薄膜和驱动电极的间距增加而指数增加,随应力增大而迅速增大。设计了特征阻抗为50Ω的有限宽地平面共面波导,讨论了其损耗特性。提出了开关的等效电学模型并计算得到等效电路参数。ADS模拟表明开关具有很低的插入损耗(0.13dB@50MHz-30GHz)和较高的隔离度(25dB@30GHz)。在此基础上,扩展到一种三态锁存RF MEMS开关,简要阐述了其工作原理。然后,采用表面微机械加工技术并以P(100)高阻硅为衬底制作了器件的硅基部分样品并进行了初步测试。着重研究了牺牲层平坦化、牺牲层腐蚀、薄膜淀积、薄膜应力控制以及离子束刻蚀等关键工艺...  (本文共78页) 本文目录 | 阅读全文>>

重庆大学
重庆大学

射频微机械开关与放大器关键技术研究

射频微机械(Radio Frequency micro-electronic mechanical System, 简称RF MEMS)开关比起目前通讯系统所用的PIN开关,具有隔离度高、插入损耗小、线性度高等特有优点,是将来通讯系统的关键基础元器件之一,它的研制开发和放大处理电路单片集成,对于进一步降低通讯系统体积、提高可靠性和稳定性,推动我国通讯系统小型化的发展具有非常重要的意义。本论文针对RF MEMS开关和与放大器单片集成化的关键技术开展了如下工作:1、利用力学原理对单臂结构的多晶硅RF MEMS开关、金属膜桥式RF MEMS CPW开关的力学特性进行模拟与分析,推导并计算了开关的阈值电压。分析了绝缘层的表面粗糙度对金属膜桥式射频RF MEMS CPW开关的关态电容的影响,要求粗糙度应控制在50-100埃范围内,这样既能保证关态电容的变化不会太大,同时又能改进抗粘效应的影响;2、针对射频放大器中放大倍数与频率带宽成反比的...  (本文共115页) 本文目录 | 阅读全文>>

《电子工艺技术》2009年03期
电子工艺技术

一种MEMS复合牺牲层工艺的研究

以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺...  (本文共4页) 阅读全文>>

《半导体学报》2002年09期
半导体学报

射频微机械开关的计算机辅助设计

应用计算机辅助设计 (CAD)方法模拟设计一种射频微机械 (RF- MEMS)开关 .用 Agilent ADS软件模拟...  (本文共5页) 阅读全文>>