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TDK—36AZ单晶炉的改造

国内许多生长晶体的单位都曾使用过 TDK-36AZ 单晶炉,由于炉子传动系统缺少配件,精度下降、手感振动较大,提拉有爬行,有的甚至晶转  (本文共1页) 阅读全文>>

《激光与红外》1987年01期
激光与红外

单晶炉速度控制系统集成化

我所自1974年研制出第一台用力矩机组驱动的单晶炉后,已陆续制造了十几台类似的单晶炉。用这种单晶炉生长出的激光、红外材料与老一代单晶炉所长晶体相比,质量有较大提高。但是用力矩电机驱功,其速度控制线路较...  (本文共1页) 阅读全文>>

《低温与特气》2020年01期
低温与特气

光伏单晶炉氩气实现净化回收

近日,中科院大连化物所李灿院士团队与大连连城数控机器股份有限公司合作研发出光伏单晶炉氩气净化回收技术。该技术为光伏晶硅大规模生产提供了技术保障,填补了我国在太阳能光...  (本文共1页) 阅读全文>>

《西安理工大学学报》2012年03期
西安理工大学学报

直拉式单晶炉动态性能分析与预测

采用弹簧-阻尼单元模拟直拉式单晶炉结合部的连接,建立TDR-120型直拉式单晶炉整机动力学分析模型。利用ANSYS软...  (本文共5页) 阅读全文>>

《半导体信息》2008年01期
半导体信息

我国首台12英寸单晶炉研制成功

国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)...  (本文共1页) 阅读全文>>

《集成电路通讯》2008年01期
集成电路通讯

我国首台12英寸单晶炉研制成功

国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)...  (本文共1页) 阅读全文>>