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热丝化学气相沉积系统的小型化研究与开发

对热丝化学气相沉积(HFCVD)系统的小型化技术进行了研究,分析了小型化设计中存在的一些关键问题,设  (本文共3页) 阅读全文>>

《中国机械工程》2006年02期
中国机械工程

掺硼金刚石膜的电火花加工研究

由于金刚石膜的加工极其困难,提出了一种通过在制备过程中掺杂使金刚石膜导电的金刚石膜精加工新工艺,利用电火花对掺杂金刚石膜进行电加工。研究了电参数对金刚石膜加工性能的影响,用SEM和Rama...  (本文共5页) 阅读全文>>

《智库时代》2019年33期
智库时代

金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展

金刚石膜以及类金刚石膜在光学元件的保护中有着重要的作用,金刚石膜以及类金刚石膜的特性决定了他们的使用方式,由于这两种膜的高硬度、低摩擦系数、高稳定性,所以在光...  (本文共2页) 阅读全文>>

《黑龙江科技信息》2015年03期
黑龙江科技信息

金刚石膜的高温氧化性能的研究

在CH4/H2气氛下,利用直流热阴极PCVD(Plasma chemical vapor deposition)设备制备的金...  (本文共1页) 阅读全文>>

《真空科学与技术学报》2012年10期
真空科学与技术学报

无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨

无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力的相关问题进行了初步探讨...  (本文共5页) 阅读全文>>

《南京航空航天大学学报》2007年03期
南京航空航天大学学报

大尺寸金刚石膜生长中等离子体弧源的稳定性

保持等离子体弧源稳定性对于制备大尺寸平面金刚石膜极其重要,故从理论和实验两个方面对等离子体弧源稳定性进行了分析。研究表明,为了保持弧源的稳定,必须在生长过程中,保持稳定的电子温度和均匀的活性原子...  (本文共5页) 阅读全文>>