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织构金刚石薄膜的成核与生长

在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下,用微波等离子体化学汽相沉积(M3VCVD)技术在Si(100)衬底上合成了织构的金刚  (本文共6页) 阅读全文>>

《物理学报》2000年09期
物理学报

氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究

利用热丝化学气相沉积法研究了氮气浓度对金刚石薄膜成核和生长的影响 .实验发现氮气的加入对金刚石成核密度影响不大 ,但促进了已形成的金刚石核的长大 .适量的氮气不仅使金刚石生长速率得到很大的提高 ,而且稳定了金刚石薄膜 (10 0 )面的生长 ,使金刚石薄膜具有更好的 (10 0 )织...  (本文共8页) 阅读全文>>

《中国光学与应用光学文摘》1997年02期
中国光学与应用光学文摘

镀膜技术及设备

O484.1 97021196织构金刚石薄膜的成核与生长=Nucleation andgrowth process of textured diamond fi...  (本文共2页) 阅读全文>>

《工具技术》1960年60期
工具技术

金刚石薄膜快速生长新工艺

金刚石薄膜快速生长新工艺美国Argonne国家能源实验室材料分部发明了一种金刚石薄膜快速生长新技术,可...  (本文共1页) 阅读全文>>

《石油大学学报(自然科学版)》196S年10期
石油大学学报(自然科学版)

金刚石薄膜的制备及其性能研究概述

金刚石薄膜是工业界继高温超导材料之后的又一研究热点,近年来的研究工作已经取得了重大进展。文章对国内外学者在金刚石薄膜的制...  (本文共6页) 阅读全文>>

《材料科学与工艺》1960年40期
材料科学与工艺

燃焰法沉积金刚石薄膜的实验研究

研究分析了燃焰法沉积金刚石薄膜时基片表面处理状态、燃烧气体流量比(O_2/CH_2)、基片温度对薄膜成核密度、质量和...  (本文共5页) 阅读全文>>

《电子工程师》1960年20期
电子工程师

发展前景广阔的新材料──金刚石薄膜

发展前景广阔的新材料──金刚石薄膜沈阳市辽中化工总厂李萍近年来,合成金刚石薄膜已经成为世界科技先进国家...  (本文共2页) 阅读全文>>