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原子光刻

介绍了根据量子光学的最新成果———激光冷却和捕陷中性原子的原理而发展出的一种新型纳米级刻印技术—  (本文共9页) 阅读全文>>

《激光与红外》2006年06期
激光与红外

原子光刻及关键技术分析

文章对原子光刻进行了深入的分析,介绍了其基本概念、工作机理、...  (本文共4页) 阅读全文>>

《科技信息》2009年15期
科技信息

原子光刻技术

针对原子光刻技术在纳米计量及传递作用中的特殊地位,介绍了该技术的基...  (本文共2页) 阅读全文>>

《应用光学》2006年03期
应用光学

纳米计量与原子光刻技术分析

为了说明原子光刻(A tom L ithography)在纳米计量及传递作用中的特殊地位,首先对纳米计量标准及其现状进行了简要介绍,提出纳米计量中原子光刻的基本概念和优势,结合原子...  (本文共5页) 阅读全文>>

《计量技术》2020年05期
计量技术

原子光刻大面积纳米光栅

原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用。本文介绍通过椭圆光斑激光汇聚铬原子沉积大面积一...  (本文共5页) 阅读全文>>

《中国激光》2003年01期
中国激光

亚稳态氖原子光刻的实验研究

用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态...  (本文共3页) 阅读全文>>