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电子束曝光机的误差与数据处理

本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各  (本文共9页) 阅读全文>>

山东大学
山东大学

Ee~-BES-40A光栅扫描电子束曝光机控制系统的改进研究

集成电路产业是现代信息产业的基础,是改造和提升传统产业的核心技术。随着微细加工技术的进步,集成电路的特征线宽进入到深亚微米领域,电子束曝光代表了最成熟的亚微米级曝光技术,是近年来发展极快且实用性较强的曝光技术。电子束曝光技术的显著优点就是分辨率高,灵活性强,容易获得亚微米分辨率的精细图形。电子束曝光技术这些优势使电子束曝光技术不仅在掩模版制作方面一直处于主流地位而且将在纳米器件的研制和生产中发挥重要作用。本文从研究电子束曝光系统的基本原理入手,着重研究了现有的Ee~-BES—40A光栅扫描电子束曝光机控制系统的控制原理和控制条件。Ee~-BES—40A是第二代电子束曝光系统,是一个集电子光学、精密机械、超高真空、计算机自动控制等近代高新技术于一体的复杂系统,主要用于在大规模集成电路(LSIC)中制作图形掩模和光栅。Ee~-BES—40A光栅扫描电子束曝光机机械部分较为精密,并且其多项技术指标在国内处于较为先进的水平。将该机器恢复...  (本文共75页) 本文目录 | 阅读全文>>

中国科学院研究生院(电工研究所)
中国科学院研究生院(电工研究所)

扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究

本文通过对扫描电子束曝光机标记信号检测及对准技术的分析,提出了背散射检测电路的设计方案和电路原理图,给出了实验结果;总结了电子束扫描场畸变的种类,给出了线性畸变的自动校正软件的设计方案和流程图;介绍了非线性畸变校正的方法。由于背散射电子信号的图像既可以显示样品的形貌也可以显示样品的成分所以选择背散射电子信号进行标记位置检测。检测器采用的是双半圆环形的半导体检测器。背散射检测电路是由检测器、模拟信号处理电路、A/D 转换器、数字信号处理、计算机和控制单元组成的。为了提高电路的抗干扰能力,从电路原理图设计到PCB 板制作都采取了一些抑制噪声的措施,本文对此做了详细介绍。总结了扫描场畸变的种类,以制作好的检测电路和现有的图形发生器为硬件基础,设计了扫描场线性畸变的自动校正软件。该软件是在Windows XP 操作系统中用C 语言实现的。在程序中采用了许多技术手段,包括降噪处理、二值化、数字增强技术等。扫描场的非线性畸变种类较多,情况复...  (本文共70页) 本文目录 | 阅读全文>>

《光学学报》1961年00期
光学学报

高亮度虚火花电子束发射度的测量

介绍了对一台脉冲线加速器驱动虚火花放电装置产生的电子束发射度的测量工作。在十隙虚火花放电室中充以15Pa的氮气,产生...  (本文共4页) 阅读全文>>

《中国材料进展》2020年04期
中国材料进展

电子束冷床熔炼的应用现状

电子束冷床熔炼(EBCHM)技术是材料冶金领域的新兴技术之一,在航空工业和国防科技中发挥着重要作用。简述了EBCHM技术的原理,探讨了EBCHM设备核心部件电子枪和冷床的发展历程。介绍了国内外近年来EBCHM在多个材料领...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年02期
电子工业专用设备

电子束直写曝光机的原理与常见问题分析

介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作...  (本文共5页) 阅读全文>>

《电加工与模具》2020年03期
电加工与模具

赝火花电子束的实验研究及在金属表面改性中的应用

高能脉冲电子束在材料表面处理领域得到广泛应用,而电子束电流及能量分布对材料表面改性结果具有很大影响。为了研究工艺参数对电子束表面改性结果的影响,从击穿电压、电容、输送空间气压和传输距离等外...  (本文共6页) 阅读全文>>