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可变矩形电子束曝光机数据格式转换软件的移植

详细介绍了如何在微机上实现 J B X6 A I I型可变矩形电子束曝光机的数据格式转换工作。在熟悉通用图形数据 C I F格式和专用  (本文共3;页) 阅读全文>>

中国科学院研究生院(电工研究所)
中国科学院研究生院(电工研究所)

可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的实用化研制

本论文介绍了文中所实现的微机版可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的相关系统设计、流程设计、算法设计等。该软件将通用图形数据格式CIF转换成JBX-6AⅡ曝光机专用格式JEOL51。经试验验证,初步达到实用化水准。本软件分为两层,核心层和交互层。其中核心层封装了所有相关算法,采用纯C/C++实现,具有良好的可移植性。交互层基于MFC实现。核心层中转换过程划分为源文件解析模块、转换模块和目标文件输出模块,其中转换模块又按照流程分为窗口裁剪、二维变换、尺寸修正、主场分割、子场分割、轮廓化、黑白翻转、自分割、束斑分割、校验等环节。论文着重介绍了这些环节的算法实现。本文采用递归下降法解析CIF语法,并总结出一套较为通用的版图描述语言解析规则,该规则可以推广到对其它形式语言的解析过程中去。本文提出了新的处理有向环运算过程中重复交点的策略,该策略能够全面适应文中有向多边形的集合运算。本文提出“线切割”的概念,并且成功以此为基础设计了系列相关...  (本文共92页) 本文目录 | 阅读全文>>

《微细加工技术》1998年03期
微细加工技术

提高电子束曝光机分辨率的探讨

某些电子束曝光机光刻出的线条是弯曲的 ,因而影响了机器分辨率的提高 ,本...  (本文共3;页) 阅读全文>>

《稀土信息》1998年02期
稀土信息

电子束发射器

电子束离子源需要数量级高达10~3A/cm~2的电子束电流密...  (本文共3;页) 阅读全文>>

《中国材料进展》2020年04期
中国材料进展

电子束冷床熔炼的应用现状

电子束冷床熔炼(EBCHM)技术是材料冶金领域的新兴技术之一,在航空工业和国防科技中发挥着重要作用。简述了EBCHM技术的原理,探讨了EBCHM设备核心部件电子枪和冷床的发展历程。介绍了国内外近年来EBCHM在多个材料领...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年02期
电子工业专用设备

电子束直写曝光机的原理与常见问题分析

介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作...  (本文共5页) 阅读全文>>

《电加工与模具》2020年03期
电加工与模具

赝火花电子束的实验研究及在金属表面改性中的应用

高能脉冲电子束在材料表面处理领域得到广泛应用,而电子束电流及能量分布对材料表面改性结果具有很大影响。为了研究工艺参数对电子束表面改性结果的影响,从击穿电压、电容、输送空间气压和传输距离等外...  (本文共6页) 阅读全文>>