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一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式

在一种新的电子束曝光机二次曲线单元图的基础上定义了一种中间图形数据格式。该数据格式是为了将版图制造业标准数据格式转换为电子束曝光机专用数据格式服务的。它采用NiklansWirth的表示  (本文共8页) 阅读全文>>

《东北电力技术》2002年04期
东北电力技术

日本开发出电子束分解二恶英技术

日本原子能研究所的科学家们利用电子束照射废气的方法分解、清除其中的有害物质二恶英 ,收到良好效果。据报道 ...  (本文共1页) 阅读全文>>

《中国材料进展》2020年04期
中国材料进展

电子束冷床熔炼的应用现状

电子束冷床熔炼(EBCHM)技术是材料冶金领域的新兴技术之一,在航空工业和国防科技中发挥着重要作用。简述了EBCHM技术的原理,探讨了EBCHM设备核心部件电子枪和冷床的发展历程。介绍了国内外近年来EBCHM在多个材料领...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年02期
电子工业专用设备

电子束直写曝光机的原理与常见问题分析

介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作...  (本文共5页) 阅读全文>>

《电加工与模具》2020年03期
电加工与模具

赝火花电子束的实验研究及在金属表面改性中的应用

高能脉冲电子束在材料表面处理领域得到广泛应用,而电子束电流及能量分布对材料表面改性结果具有很大影响。为了研究工艺参数对电子束表面改性结果的影响,从击穿电压、电容、输送空间气压和传输距离等外...  (本文共6页) 阅读全文>>

《特种铸造及有色合金》2020年08期
特种铸造及有色合金

多物理场耦合数值模拟在电子束冷床熔炼中的应用研究

掌握以电子束冷床熔炼为核心的高端钛材"低成本、短流程"制备技术是我国钛产业进一步发展的核心问题。为揭示电子束冷床熔炼过程中的复杂物理现象,建立产品质量调...  (本文共5页) 阅读全文>>