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纳米级电子束曝光机用图形发生器

为满足纳米级电子束曝光系统的要求,设计了高速图形发生器。该图形发生器包括硬件和软件两部分。硬件方面主要是利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点,然后通过优化设计的数模转换电路,将数字量转化成高精度的模拟量,驱动扫  (本文共6页) 阅读全文>>

中国科学院研究生院(电工研究所)
中国科学院研究生院(电工研究所)

纳米级电子束曝光系统用图形发生器技术研究

纳米级电子束曝光系统是微纳加工的重要设备,图形发生器是电子束曝光系统的核心部件,包括硬件和软件两部分。硬件设计吸纳了近年来数字信号处理的最新成果,利用高性能数字信号处理器(DSP)将要曝光的单元图形拆分成线条和点,然后通过优化设计的数模转换电路,将数字量转化成高精度的模拟量,驱动扫描电镜的偏转器,实现电子束的扫描。为此目的特构建了x方向和y方向两组数模转换电路,每组包括1个16位主数模和3个16位乘法数模。通过图形发生器可以对标准样片进行图像采集,进行扫描场的线性畸变校正,包括扫描场增益、旋转和位移校正。另外,图形发生器还可以控制束闸的通断。配合精密定位工件台和激光干涉仪,可以实现曝光场的拼接,拼接精度优于0. 2μm。通过检测芯片的标记,还可以实现曝光图形的套刻。利用配套软件既可以新建曝光图形,也可以导入通用格式文件,例如CIF和GDSII文件,进行曝光参数设置、图形修正、图形分割、邻近效应修正等工作,然后将曝光图形数据转换成...  (本文共119页) 本文目录 | 阅读全文>>

《核技术》2005年07期
核技术

环形电子束在周期永磁场中传输的理论研究

通过对环形电子束中电子的受力分析,得出了在周期永磁场(P...  (本文共5页) 阅读全文>>

《中国材料进展》2020年04期
中国材料进展

电子束冷床熔炼的应用现状

电子束冷床熔炼(EBCHM)技术是材料冶金领域的新兴技术之一,在航空工业和国防科技中发挥着重要作用。简述了EBCHM技术的原理,探讨了EBCHM设备核心部件电子枪和冷床的发展历程。介绍了国内外近年来EBCHM在多个材料领...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年02期
电子工业专用设备

电子束直写曝光机的原理与常见问题分析

介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作...  (本文共5页) 阅读全文>>

《电加工与模具》2020年03期
电加工与模具

赝火花电子束的实验研究及在金属表面改性中的应用

高能脉冲电子束在材料表面处理领域得到广泛应用,而电子束电流及能量分布对材料表面改性结果具有很大影响。为了研究工艺参数对电子束表面改性结果的影响,从击穿电压、电容、输送空间气压和传输距离等外...  (本文共6页) 阅读全文>>

《半导体技术》2006年06期
半导体技术

电子束曝光技术及其应用综述

综述了几种目前已得到应用和正在发展中的电子束曝光技术,包括基于扫描电镜(...  (本文共6页) 阅读全文>>