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电子束曝光数据格式的改进设计与实现

根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC++6.  (本文共5页) 阅读全文>>

《半导体技术》2006年06期
半导体技术

电子束曝光技术及其应用综述

综述了几种目前已得到应用和正在发展中的电子束曝光技术,包括基于扫描电镜(...  (本文共6页) 阅读全文>>

《中国材料进展》2020年04期
中国材料进展

电子束冷床熔炼的应用现状

电子束冷床熔炼(EBCHM)技术是材料冶金领域的新兴技术之一,在航空工业和国防科技中发挥着重要作用。简述了EBCHM技术的原理,探讨了EBCHM设备核心部件电子枪和冷床的发展历程。介绍了国内外近年来EBCHM在多个材料领...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电子工业专用设备》2020年02期
电子工业专用设备

电子束直写曝光机的原理与常见问题分析

介绍了电子束曝光的分类和特点,阐述了电子束直写曝光的核心部分-电子光柱体的结构、原理以及工作...  (本文共5页) 阅读全文>>

《电加工与模具》2020年03期
电加工与模具

赝火花电子束的实验研究及在金属表面改性中的应用

高能脉冲电子束在材料表面处理领域得到广泛应用,而电子束电流及能量分布对材料表面改性结果具有很大影响。为了研究工艺参数对电子束表面改性结果的影响,从击穿电压、电容、输送空间气压和传输距离等外...  (本文共6页) 阅读全文>>

《东北电力技术》2002年04期
东北电力技术

日本开发出电子束分解二恶英技术

日本原子能研究所的科学家们利用电子束照射废气的方法分解、清除其中的有害物质二恶英 ,收到良好效果。据报道 ...  (本文共1页) 阅读全文>>