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低压气相生长金刚石薄膜成核机理的研究

本文论述了低压气相生长金刚石薄膜中活性原子团CH_3和原子态氢在金刚石成核运动中的作用以及衬底材料性能对成核的影响,认为活性基CH_3是生长金刚石的主要活性物质,它们在衬底表面的吸附、碰撞、聚集等构成了成核运动,原子氢在成核运动中的主要作用  (本文共7页) 阅读全文>>

《国外激光》1940年70期
国外激光

蓬勃发展的金刚石薄膜技术

蓬勃发展的金刚石薄膜技术余昺鲲(上海科学技术大学)金刚石象征着财富、地位、奢侈已为人们所共知,而今天金...  (本文共4页) 阅读全文>>

《微细加工技术》1940年20期
微细加工技术

金刚石薄膜的人工合成及其结合力的评估

在硬质合金WC—Co基体上,用热丝CVD法,人工合成出金刚石薄膜。利用X衍射、激光拉曼光谱和扫描电镜对金刚石...  (本文共5页) 阅读全文>>

《微细加工技术》1940年40期
微细加工技术

金刚石薄膜成份和结构的评价方法

本文描述了低压气相淀积生长金刚石薄膜样品的成份、结构、...  (本文共6页) 阅读全文>>

《磨料磨具与磨削》1994年01期
磨料磨具与磨削

国外金刚石薄膜工具的应用研究

金刚石薄膜是当今世界范围研究的热点之一,其之所以引起各国(尤其是日本和美国)的高度重视和研究开发,是因为金刚石薄膜在机械加工、光学和微电子技术等领域...  (本文共2页) 阅读全文>>

《四川化工》1994年S4期
四川化工

一种加工金刚石薄膜的新方法

近年来,由于化学蒸气沉积法(CVD)的运用,人造金刚石薄膜的生产日益发展。这种金刚石薄膜具有良好的导热性、光学透明牲、硬度、惰性和半导体特性,在光学和...  (本文共2页) 阅读全文>>