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质量干扰引起的离子微探针深度分析误差及其消除方法

用离子微探针测量Si 中注入B、As 杂质的浓度分布,发现测量误差很严重,原因在于质量干扰和J.C.C.Tsai 转换公式[1]有误。通用的离子探针不能将要测的二  (本文共8页) 阅读全文>>

《分析仪器》1975年02期
分析仪器

离子微探针质量分析器的应用

今天将要讨论的仪器,曾由当时参加了这一工作的Dr.Helmut.Liebl.在一九六七年十二月的应用物理杂志上对其主要方...  (本文共5页) 阅读全文>>

《地质地球化学》1977年05期
地质地球化学

离子微探针质量分析仪(IMMA)是地球化学工作者的最终武器吗?

二十世纪五十年代后期电子探针X射线显微分析仪的出现宣告了分析地球化学的一次革命。在这之前,化学地质工作者还不...  (本文共6页) 阅读全文>>