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基于瞳面干涉的自参考干涉仪的研制

为了用更简单的光学器件使对准标记产生的衍射光实现重叠干涉,同时能够降低对准系统的加工和装调难度,设计了基于瞳面干涉的自参考干涉仪系统。首先,对当前光刻机所使用的对准技术展开研究,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,提出了用Koster棱镜作为合光器件的自参  (本文共4页) 阅读全文>>

《激光与光电子学进展》2017年01期
激光与光电子学进展

基于补偿干涉仪的串联式全场光学相干层析系统

提出了一种基于补偿干涉仪的串联式全场光学相干层析(FF-OCT)系统。该系统包含共光路式探测干涉仪和双臂式补偿干涉仪,前者用于探测样品的后向散射光,后者用于补偿探测干涉仪两臂的光程差。采用宽带...  (本文共8页) 阅读全文>>

《通信对抗》2016年04期
通信对抗

一种基于运动相位干涉仪的辐射源定位方法

提出了一种基于运动相位干涉仪的静止辐射源无模糊定位方法,该方法包括建模、相位差采集、基于单次测量的辐射源位置概率计算、迭代计算与辐射源位置确定等...  (本文共4页) 阅读全文>>

《物理实验》2017年10期
物理实验

移相干涉仪的改进方法与实现

通过安装视频采集软件,从监视窗口记录相移过程.再从捕获视频中选出一组相移干涉图,经过相位计算,可得到波面分布.介绍了数据处理流程,编...  (本文共5页) 阅读全文>>

《宇航计测技术》2016年05期
宇航计测技术

光学干涉计量用共光路动态干涉仪光机结构设计

光学干涉计量方法具有一系列独特的优点,包括非接触、非破坏、髙精度和高灵敏度等,在生产和科学研究领域获得了广泛的应用。干涉仪作为检验光学系统、光学元件最准...  (本文共5页) 阅读全文>>

《红外与激光工程》2017年02期
红外与激光工程

采用萨格纳克干涉仪与螺旋相位片生成矢量光束

萨格纳克干涉仪中传播的两束光具有相同的光程,因而适合用于高稳定的合束系统,螺旋相位片作为无源、分离器件具有螺旋光束转化效率高、工作环境适用条件低等优点。研究将萨格纳克干涉仪和螺旋相位片结合起来生成矢...  (本文共6页) 阅读全文>>