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电子束纵向泵浦准分子激光器

本文描述一电子束纵向泵浦准分子激光器。分析了螺旋管产生的磁场和它对电子束的影响。用 CVR 和探  (本文共5页) 阅读全文>>

《中国激光》1986年09期
中国激光

电子束纵向泵浦准分子激光器

本文讨论了电子束纵向泵浦准分子激光器,详细分析描述了用三个线圈产生约束磁场使相对论性电子束能够最有效地与激光介质进行耦合产生能量转...  (本文共1页) 阅读全文>>

《激光技术》1987年02期
激光技术

电子束纵向泵浦准分子激光器装置参数的测量

本文描述了电子束纵向泵浦准分子激光器装置中磁场的测量,它是用标准电阻法或带有积分器的探测线圈完成的,而电子束的总能量是用...  (本文共8页) 阅读全文>>

《微细加工技术》1985年04期
微细加工技术

美国直接作图电子束曝光机生产的新动向

1、美国Varian公司的曝光机生产部(Lithography Production Division)近四年来一直...  (本文共1页) 阅读全文>>

《电子器件》1989年01期
电子器件

气体放电电子束及其在微电子加工中的应用

一种利用低气压放电产生电子束的装置可以发射强力电子束,这种装置成本低廉、易于调节,并且电子束截面形状可以按要求设计。这种电子束的发生技术、理论以及开发工作在美、日等国正在开展。利用这种电子束进行半导体加工的...  (本文共6页) 阅读全文>>

《微细加工技术》1986年03期
微细加工技术

电子束曝光机(三)

1、引言 上一讲已经说明了组成电子光学镜筒的若干部件的特性。这个电子光学分系统加上样品工件台,电子束控制电路,计算机和真空系...  (本文共14页) 阅读全文>>

《电工电能新技术》1987年02期
电工电能新技术

电子束曝光的技术发展动向

作者曾参加了第三十届国际电子束、离子束、光子束年会,在此介绍了该年会电子束学组所提出的一些主要观点。本文讨论了与计...  (本文共5页) 阅读全文>>