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2020浙江-俄罗斯科技创新合作,打造金刚石薄膜研究中心

"2020浙江-俄罗斯科技创新合作周"开幕式在浙江工业大学屏峰校区举行。现场举办的"浙江  (本文共1页) 阅读全文>>

《超硬材料工程》2019年06期
超硬材料工程

掺硼金刚石薄膜的制备与研究

采用微波等离子体化学气相沉积技术在单晶硅、钛、钼、铌、钽基体上制备掺硼金刚石薄膜。分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪、四探针电阻率测试仪研究其物相组成、表面形貌、晶体结晶性和电阻率。硼原子代替碳原子进入金刚石晶格中,产生更多的缺陷形核中心...  (本文共5页) 阅读全文>>

《真空》2020年06期
真空

金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制

根据目前热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapour Deposition, HFCVD)金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2020年06期
《金刚石与磨料磨具工程》2019年04期
金刚石与磨料磨具工程

硼及其协同掺杂金刚石薄膜的研究

在金刚石中掺入杂质元素会在保留其原有优良性能的基础上获得其他性能,如掺入硼元素可以使金刚石成为P型半导体;协同掺杂其他元素...  (本文共8页) 阅读全文>>

《半导体技术》2018年01期
半导体技术

HFCVD金刚石薄膜的热场模拟及实验

基体温度是影响金刚石薄膜生长质量的重要因素之一。基于有限元分析法,通过ANSYS CFX软件对基体温度场进行模拟仿真,得到基体表面温度场的分布,并分别讨论了热丝-基体距离、热丝间距、水冷系数等参数对系统温度场均匀性和一致性的影响。经仿真优...  (本文共6页) 阅读全文>>

《硬质合金》2017年06期
硬质合金

碳化硅衬底沉积高取向金刚石薄膜

采用直流辉光放电等离子体设备在单晶碳化硅表面沉积高晶取向金刚石薄膜,研究了预处理方法、基片温度以及甲烷浓度(甲烷与氢气的体积比)对金刚石薄膜晶粒取向的影响。用SEM、Raman等测试方法对金刚石薄膜进行表征。...  (本文共6页) 阅读全文>>