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定容法测量小孔流导的方法研究

规则小孔的流导可以通过计算得到,但对于非规则小孔,若要准确得到小孔流导的大小,就必须通过实验测量得到。  (本文共5页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2006年01期
《真空与低温》2005年01期
真空与低温

小孔流导测量方法的研究

在分子流条件下,给出了定容法和恒压法测量流导的方法,分析了测量不确定度。采用定...  (本文共7页) 阅读全文>>

合肥工业大学
合肥工业大学

一维纳流控型固定流导元件的制作及性能研究

流导元件是用来提供已知微流量气体的重要计量工具,广泛用于真空计和四极质谱仪的校准,其性能直接影响着真空测量和真空检漏结果的准确性。目前,传统的标准流导元件,如渗氦型、金属压扁型流导元件,其形状尺寸不可控、漏率不确定、通道中气体流动状态与实际不吻合,而新型固定流导元件多采用胶封的方式,存在着材料放气率高等问题。针对传统的标准流导元件存在的问题,本文提出了一种利用一维纳米通道制作固定流导元件的方法。采用反应离子刻蚀技术在硅基底上刻蚀深度为100nm左右的沟槽阵列,并利用硅硅直接键合技术完成沟槽的密封,然后采用铟熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件。接着对比分析了铟封装方式的流导元件与新型胶封流导元件的放气率差异,结果表明铟封接方式能够获得更小的背景压力,消除了Torr-Seal胶封带来的材料放气率影响。最后使用自主设计搭建的差压法校准装置对通道组数不同的固定流导元件进行气体传输特性测试。测量结果表明:(1)三种测量气...  (本文共79页) 本文目录 | 阅读全文>>

《湖北社会科学》2013年07期
湖北社会科学

国外突发事件网络舆情信息流导控模式及其对中国的借鉴

国外突发事件网络舆情信息流导控实践起步较早,形成了三种主要模式,即致力于彰显个人自由核心价值的自律导控模式、力求个体自律与国家调控相协调的均衡导控模式和...  (本文共5页) 阅读全文>>

《中国社会公共安全研究报告》2013年02期
中国社会公共安全研究报告

国外突发事件网络舆情信息流导控模式及其对中国的借鉴

国外突发事件网络舆情信息流导控实践起步较早,形成了三种主要模式,即彰显个人自由的北美自律模式、个体自律与国家调控相协调的欧洲均衡导控模式和凸现政府强...  (本文共12页) 阅读全文>>

《植物学报》2000年09期
植物学报

根径向水流导度测定技术的改进

根系径向流的水力学性质主要是根的径向水流导度 ,它取决于根径向水流通道的状况。利用改进的现有原位测定根系径向水流导度的蒸腾计技术 ,设计了一个简便的 4室吸水测定装置 ,可一次性获得根木质部水势...  (本文共4页) 阅读全文>>

《真空》2014年05期
真空

活塞间隙型流导性能研究

本文设计了一种基于活塞间隙的微小流导结构,流导数值可调,采用实验的...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2014年05期