分享到:

Si_3N_4刀具基底预处理对MPCVD金刚石涂层质量的影响

采用自制 2 4 50MHz ,5kW不锈钢谐振腔型微波等离子体设备 ,研究了超声处理、细砂纸研磨、1 μm和 0 .5μm金刚石粉研磨等Si3N4基底预处理方法对MPCVD金刚石涂层质量的影响 ,用SEM和Raman光谱仪检测和分析了金刚石成核和生长质  (本文共4页) 阅读全文>>

《人工晶体学报》2015年03期
人工晶体学报

MPCVD金刚石单晶的制备及其应用前景

金刚石具有优异的物理化学性能,在很多领域的应用前景十分诱人。用化学气相沉积(CVD)法实现高沉积速率、高质量、大面积金刚石单...  (本文共6页) 阅读全文>>

《人工晶体学报》2015年04期
人工晶体学报

高气压高功率条件下MPCVD法制备金刚石单晶

利用自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD设备,在工作气压28kPa,微波功率5kW的条件下成功制备金刚...  (本文共5页) 阅读全文>>

《硬质合金》2015年03期
硬质合金

提高MPCVD金刚石薄膜均匀性的研究

金刚石具有诸多优异的物理和化学性质,使得它在许多高新技术领域如:热沉、光学窗口、光导探测器等方面拥有广阔的应用前景。MPCVD法制备金刚石薄膜具有无极放电、沉积温度低等独特优势,是最具潜力制备高质量均匀金刚石薄膜的方法。文章从CH4和H2的浓...  (本文共8页) 阅读全文>>

《真空与低温》2014年04期
真空与低温

MPCVD法制备石墨烯的研究进展

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是近年来发展起来的制备石墨烯的新方法,具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,逐渐成为制备高质量石墨烯的主要方法。首先通过分析...  (本文共8页) 阅读全文>>

《真空与低温》2014年05期
真空与低温

MPCVD法在碳纤维上制备碳纳米管

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在碳纤维上制备了碳纳米管,并在此基础上系统地研究了微波功率、反应时间、催化剂前驱体的吸附时间以及吸附浓度对碳纳米管生长的影响...  (本文共5页) 阅读全文>>