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表征薄层电阻的Mapping技术研究

本文介绍了常用的微区电阻测试方法,通过比较各种方法的优劣,选择四探针方法进行研究,分析了常规直线四探针法的基本原理、测准条件、电流量的选择、边缘和厚度的修正以及测量区域的选择。从常规直线四探针法入手,引进了改进的范德堡法,即斜置式四探针法,阐述了该方法优于常规直线四探针法的测量原理及测试条件,然后基于常规直线四探针法和改进的范德堡法,探讨了用于测量薄层电阻率的斜置式方形Rymaszewski四探针法的原理,用该方法测定了4吋圆形硅片的电阻率分布。从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分割数和差值,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归于不同的模糊集,同一模糊集对应相同的电阻率,这样使得电阻率能以一定间隔分布,然后应用MATLAB软件画出电阻率的图形,以构成Mapping图。选取的Mapping图表示方法有:径向图、径向对比图、彩图、灰度图和等值线图。比较各种薄层电阻分布图的表示方法,优选出最理想的表征薄层电阻的Mapp  (本文共68页) 本文目录 | 阅读全文>>

《城市建筑》2017年35期
城市建筑

前行中的“非正规”设计——关于Mapping工作坊开展的思考

设计是为大众服务的,然而未来城市的设计师们对设计主体——人的关注逐渐减少,设计方案趋于过度理想化而与大众真正的需求和日常生活逐渐脱节。近几年于国内外开展的Mapp...  (本文共5页) 阅读全文>>

《Science Bulletin》2016年24期
Science Bulletin

Mapping the human brain function in vivo

Mapping of the human brain function in vivo is among the most promising means of unc...  (本文共2页) 阅读全文>>

《校园英语》2017年26期
校园英语

The Application of Mind Mapping in English Vocabulary Review Class

Mind Mapping is a tool which can help stimulate divergent thinking of our brain. It visualizes information and knowledge and provides a simplified structure of the target knowledge system. English vocabulary is a very important pa...  (本文共1页) 阅读全文>>

《Journal of Southwest Jiaotong University》2006年02期
Journal of Southwest Jiaotong University

Iterative Processes with Errors for Generalized Set-Valued φ-Hemi-contractive Mapping in Banach Spaces

A new conception of generalized set-valued -hemi-contractive mapping in Banach spaces is presented. Some ...  (本文共6页) 阅读全文>>

《Journal of Shanghai Jiaotong University(Science)》2006年02期
Journal of Shanghai Jiaotong University(Science)

A Scheme of Fragile Watermarking Based on SVD and 2D Chaotic Mapping

This paper proposed a novel fragile watermarking scheme based on singular value decomposition (SVD) and 2D chaotic mapping. It obtains chaotic initial values from the image blocks singular value decomposition and the user's key, then uses the chaot...  (本文共6页) 阅读全文>>