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深紫外成像光谱椭圆偏振仪校准方法研究

成像椭偏仪(Imaging Spectroscopic Ellipsometer)是一个能够实时观察或显示样品表面信息并对感兴趣的区域进行测量的仪器。它具有无损检测、非苛刻性、精度高、成像并可观察感兴趣区域等优点,可应用于石墨烯、太阳能电池、自组装单分子层,蛋白质-蛋白质相互作用等领域。成像椭偏仪在对待测样品进行测量之前,需要对其系统参数进行精确的校准,系统参数校准的好坏将直接影响成像椭偏仪测量的准确性。本论文主要围绕成像椭偏仪系统的校准进行展开,以实现准确校准成像椭偏仪系统参数为目标,深入研究成像椭偏仪理论与系统参数的关系,提出并优化系统中零级波片的相关参数,进而提出用于校准成像椭偏仪系统参数的方法,并通过搭建实验平台进行验证,理论和实验结果相吻合。本文主要研究内容如下:1.提出一种测量成像椭偏仪元件中零级波片的偏差角度和相位延时量的方法。通过光学无损测量的相关理论分析,并选择合适的物理模型,经过复杂的理论推导,得到用于检测波  (本文共68页) 本文目录 | 阅读全文>>

《仪器仪表学报》1985年01期
仪器仪表学报

自动椭偏仪测试技术

用计算机控制的椭偏仪可以用于薄膜光学测试的广泛领域,特别适用于跟踪阳极薄膜生长,测试它们的电光效应和电致伸...  (本文共6页) 阅读全文>>

《半导体技术》1987年06期
半导体技术

国外椭偏仪性能简介

各种薄膜工艺参数和质量(厚度、折射率的数值及其均匀性等)的精确、快速测定和控制,在半导体器件生产、研制中有着极其重要的...  (本文共4页) 阅读全文>>

《光学学报》1987年07期
光学学报

与消光式兼容的光度椭偏仪的原理

在PQSA式消光型椭偏仪基础上,把原来方位固定的1/4波片改为旋转波片就可以构成与消光式兼容的新型光度椭偏仪。...  (本文共4页) 阅读全文>>

《光学学报》1984年10期
光学学报

光电自动补偿的椭偏仪

本文介绍一种新的电光补偿自动椭偏仪.详细讨论了它...  (本文共5页) 阅读全文>>

《光学仪器》1984年02期
光学仪器

单晶非吸收薄膜的动态椭偏仪测试

本文叙述了用计算机控制的椭偏仪测量单轴非吸收薄膜(如氧化钽、氧化...  (本文共6页) 阅读全文>>