分享到:

微机械加工压力传感器的研究

传感器是获取信息的重要工具,是信息技术(包括传感与控制技术、通讯技术和计算机技术)的三大支柱之一。因此,近年来国内外都将传感器技术列为尖端技术而倍加重视,并投入大量人力、物力进行开发和研究。在众多种传感器中,压力传感器的应用最为广泛,在石化、化工、电力和国防等民用和军用部门的流程控制、自动化技术等多方面都有其应用,而且近年来更有着明显的上升趋势。利用半导体材料的压阻效应和良好的弹性,用集成电路工艺和硅的微机械加工技术来研制固态半导体压力传感器,此种传感器主要有硅压阻式和电容式两种。本论文的内容正是采用微机械加工技术,开展对硅压阻式压力传感器的研究。在简要介绍了半导体压力传感器的数学模型后,从版图、隔离膜片、敏感元件的结构、整体结构等方面的设计,阐述了对所研制的传感器的整体设计思想。并在传感器研制过程方面,对一些关键环节的制作过程和制作工艺进行了论述。从工程角度阐述了本文研制的传感器所需的资源环境,如设备、仪器等,并提供了为满足所  (本文共56页) 本文目录 | 阅读全文>>

大连理工大学
大连理工大学

微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究

电容式传感器具有结构简单、灵敏度高,动态特性好、对辐射和强烈振动等恶劣条件适应性强、价格便宜等一系列优点。但是,电容式传感器生产时电容引线困难、输出信号受干扰和温度影响较大、输出特性存在非线性等问题制约了电容式传感器的生产及应用。本课题中研制了一种新型微机械加工传感器,解决了引线封装问题;设计了一种信号调理电路,解决了微小电容变化量的精密检测和信号放大问题;同时用单片机实现了输出信号的温度和非线性的软件补偿。  (本文共52页) 本文目录 | 阅读全文>>

河北工业大学
河北工业大学

智能压力传感器的设计

压阻型扩散硅压力传感器以其低价格得到广泛应用,基于单片机技术的智能压力传感器以其使用方便,测量精确而得以推广。压力传感器的核心是扩散硅电阻桥,智能压力传感器应用单片机技术采集数据、处理并输出显示结果。扩散硅的压阻系数是温度的函数,所以存在灵敏度温漂,而影响温度的因素是多方面的:测量环境的变化,测量电路产生的热量的影响等等,所以要想得到比较精确的压力值,必须对压力传感器进行校正。压力传感器的零点存在热漂移、电漂移和时间漂移,减小压力传感器的热零点漂移的措施是各力敏电阻的电阻值及其温度系数的相等性。本论文应用曲线拟合方法,神经网络算法和多项式拟合的规范化方法校正零点,降低成本且精确度提高。压力传感器的压力灵敏度与压阻系数成比例关系,而压阻系数是温度的函数,所以非线性补偿的实质是消除温度对灵敏度的影响。可应用的方法很多:二极管补偿法,恒流源补偿法,热敏电阻补偿法等。本论文利用集成的温度传感器AD590获得温度信息,应用曲线拟合技术,融...  (本文共51页) 本文目录 | 阅读全文>>

《传感技术学报》2020年01期
传感技术学报

扩散硅压力传感器长期稳定性提升试验方法研究

扩散硅压力传感器结构简单、集成度高、批量制造兼容性强,是目前MEMS领域研究最多的传感器类型,该类传感器面向航空航天等高端应用的最大技术瓶颈是封装后的传感器长期稳定性,因此相关长期稳定性提升技术已成为学术界和产业界广泛关注的...  (本文共6页) 阅读全文>>

《测控技术》2020年04期
测控技术

高温大压力传感器研究现状与发展趋势

高温环境下大量程压力测量技术在工业、航空航天、石油勘探等领域具有广阔的应用前景。高温大压力传感器是目前研究的热点。对目前几种常用的高温大压力传感器包括多...  (本文共6页) 阅读全文>>

《传感器世界》2020年01期
传感器世界

压力传感器的补偿方法和系统

申请号:201910962414.5【公开号】CN110553786A【公开日】2019.12.10【分类号】G01L19/04; G01L27/00; G05D7/06【申请日】201...  (本文共1页) 阅读全文>>

《中外鞋业》2020年06期
中外鞋业

名称:一种用于鞋底中的压力传感器

序号:US10598555B2本发明公开了一种运用于鞋底结构中的压力...  (本文共1页) 阅读全文>>