分享到:

水银电容加速度传感器原理的研究

微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System)采用与集成电路技术兼容的加工技术制造出尺寸达到微米甚至纳米量级的机械。传感器是MEMS的一个重要应用领域。本文针对目前固态加速度传感器的弹性结构设计存在高灵敏度与抗高过载之间的矛盾以及对抗高过载加速度计的现实需求,提出了一种新型加速度传感器即水银电容加速度传感器。本文在理论上说明了水银加速度传感器的原理、几种电容电介质薄膜的性质、应用以及制备方法,另外对相关的学科理论也有一定的阐述,诸如固液表面的接触理论,固液接触角的测量方法等等。在分析了水银加速度传感器可行性及其潜在的优点的基础上,本文对于在不同加速度作用下,水银液滴表面形状的控制方程进行了理论探索,这对于整个传感器的研究具有重要意义。在结构设计一章中,提出了三种水银强的结构设计方案,重点描述了水银腔为工字形结构的情形。通过实验测量了水银与几种常用电介质之间接触角,并应用Matlab软件编写  (本文共83页) 本文目录 | 阅读全文>>

中北大学
中北大学

电容传感器测量电路的研究与应用

本文研究了电容传感器测量电路的应用背景和国内外研究现状,针对水银电容加速度传感器的输出背景电容大、变化量相对小的特点,选择了基于电荷放大原理的电容测量电路。该电路性能好,精度高。综合国内外研究分析,可见电容传感器有相当广阔的应用前景。本文围绕三维水银电容加速度传感器的设计,详细分析了两大部分的内容:基于专用集成电路的微小电容测量电路和便于多电极电容测量的基于电荷放大原理的微小电容测量电路。第一部分,详细探讨了专用集成电路QTM2000模块的功能、特性和工作原理,论述了基于专用集成电路的微小电容测量电路的工作原理和具体的设计方法。实验研究结果表明,该电路的原理方案正确、可行,并已达到了课题的要求。第二部分,详细探讨了便于多电极电容测量的基于电荷放大原理的微小电容测量电路的工作原理和设计方法,并重点论述了开关的电荷注入效应对测量分辨率的影响问题和解决的方法。实验结果表明,该电路的原理方案正确、可行,并已基本达到了测量小电容的目的。另...  (本文共88页) 本文目录 | 阅读全文>>

河北工业大学
河北工业大学

磁流体加速度传感器外围电路的设计与实验研究

加速度传感器是一种十分重要的力学量传感器,它对于测量和控制对象的运动状态有着非常重要的意义。随着现代科学技术的快速发展,我们对加速度传感器不断提出了更高的要求。探索研究新原理、新结构、新功能的高性能加速度传感器已成为世界各国的研究热点。磁流体是一种新型的磁材料,它是一种含有均匀分布的铁磁性微粒的稳定的胶状悬浮液,同时仍具有液体的流动性。自从NASA发现这种材料以来,磁流体已经在许多的领域中,包括电气、机械、医学、物理、化学等,发挥了巨大的作用。本文将磁流体用于加速度传感器的设计还是一项比较先进的课题。对于它的研究必将会为测量和控制提供更大的方便,推动整个传感器行业的发展,并且会拓宽磁流体的应用领域。通过分析目前加速度传感器的国内外研究现状和磁流体特性,对多种加速度传感器的设计原理及其优缺点以及目前利用磁流体设计加速度传感器的几种设计方案进行研究,最终确定了本论文的磁流体加速度传感器设计方案。传感器测试系统应用技术的关键,就在于能...  (本文共53页) 本文目录 | 阅读全文>>

《传感器世界》2019年11期
传感器世界

KX132-1211/KX134-1211加速度传感器

ROHM集团旗下的Kionix开发出两款加速度传感器KX132-1211和KX134-1211,非常适用于工业设备和可穿戴式设备等...  (本文共2页) 阅读全文>>

《中国检验检测》2020年02期
中国检验检测

一种伺服式加速度传感器的标定

本文通过分析伺服式加速度传感器的工作原理,并利用现有的低频振动标准装...  (本文共2页) 阅读全文>>

《传感器与微系统》2020年08期
传感器与微系统

并联式六维加速度传感器零件应变的叠加特性

针对六维加速度传感器输入、输出量强非线性耦合的特点,以一种并联式构型为例,研究了主要零件的应变与输入量之间的传递特性。通过Newton-Euler法建立了系统的正向动力学方程,推导出6个输入量与12条支链轴向力之间的解析函数...  (本文共5页) 阅读全文>>

《天津职业技术师范大学学报》2019年03期
天津职业技术师范大学学报

加速度传感器快速检测装置的开发

针对现有加速度传感器快速检测方法的缺陷,设计一种可快速精确检测加速度传感器装置。根据压阻式加速度传感器的电气特性与工作原理,分析了加速度传感器的特征参数,并以...  (本文共5页) 阅读全文>>