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硅片自旋磨削试验台关键技术的研究

随着集成电路(IC)制造技术的飞速发展,硅片趋向大直径化。同时对硅片加工精度、表面粗糙度、表面缺陷、表面洁净度和硅片强度等提出更高的要求。超精密磨削被认为是最有发展前景的大尺寸硅片高效超精密加工技术,其中,硅片自旋转磨削是普遍采用的硅片磨削方式,已经应用于大直径硅片加工中的材料制备阶段和图形硅片的背面减薄。但是,目前先进半导体硅片磨削技术与设备被发达国家及跨国公司所垄断,严重制约了国内半导体制造业的发展。本文分析了硅片超精密磨削设备的关键技术;介绍了硅片真空夹持系统的原理、真空吸盘的修整与检测方法、硅片厚度在线测量系统的原理及调整方法、磨削力在线测量原理等;在此基础上,设计了硅片磨削试验台的整体结构;完成了磨头主轴的结构设计及主轴轴线与旋转工作台轴线之间夹角的调整机构;设计了主轴传动机构,并通过理论分析,确定了硅片磨削试验台的进给速度范围;完成了旋转工作台的结构设计,磨削试验台的制造、安装和调试工作。本文研究开发了磨削试验台的磨  (本文共83页) 本文目录 | 阅读全文>>

《机电工程技术》2020年05期
机电工程技术

阀门试验台振动与噪声原因分析及消除方法研究

阀门试验台是对阀门质量进行检验的重要工具,其产生的振动和噪声是阀门质量评价的重要指标,因此在检验行业显得非常重要。为了降低或减少阀门试验台的振动和噪声,从阀门试验台振动和噪声产生的机理进行...  (本文共2页) 阅读全文>>

《农机化研究》2018年02期
农机化研究

胶棒滚筒采摘头试验台测控系统设计

为准确监测胶棒滚筒采棉机采摘过程的工作状态,揭示胶棒滚筒采摘头工作机理,研究了各因素对采摘头采摘性能的影响。在已有的胶棒滚筒采摘头试验台的基础上,研制出基于LabVIEW虚拟仪器的采摘头试验台测控系统。该系统由驱动控制系...  (本文共5页) 阅读全文>>

《工程与试验》2017年01期
工程与试验

角度连续可调式传动轴试验台的研制与应用

传动轴是汽车的重要组成部件,其性能与寿命直接影响汽车的性能。角度连续可调式传动轴试验台的最大特点是采用了机械...  (本文共3页) 阅读全文>>

《山东工业技术》2017年19期
山东工业技术

浅谈车辆整车称重均衡试验台称重部分的校准

车辆整车称重均衡试验台是高速动车整车试验中的一项重要的检测设备,是为检验动车上所安装设备是否均衡、如何配重提供真实可靠数据的。高速动车整车的均衡性好坏直接影响将来车辆在高速运行及高速弯道运行时的行车安全。高速铁...  (本文共1页) 阅读全文>>

《金属加工(冷加工)》2016年S1期
金属加工(冷加工)

120阀专用试验台故障分析及维修处理

本文结合近几年120阀专用试验台日常保养、机能试验及故障处理过程中所碰到难点问题,从120阀专用试验...  (本文共4页) 阅读全文>>