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高精度消光式椭圆偏振测厚仪的研究与实现

本文综述了椭偏仪的国内外发展状况,分析了原来HST-1型椭偏仪存在的问题,如测量速度慢、精度不高和ISA接口等,根据消光式椭偏测量原理,采用了USB接口的主从机系统框架,设计了一台高精度反射式消光法椭圆偏振测厚仪样机,并对该仪器进行了大量的测试,测试数据表明该仪器测量精确度高且速度快。主要完成了以下的工作:1、光机系统采用模块化的设计,便于组装成立式或卧式椭偏光机实验系统;2、采用USB接口的主从机工作方式,解决了HST-1型椭偏仪的ISA接口应用困难的问题;3、基于“电流矢量恒幅均匀旋转”的步进电机细分技术,设计了步进电机均匀细分驱动电路,采用软件生成表和人工修正相结合的方法,补偿了步距角与细分数的非线性关系,实现了步距角的均匀细分,细分步达到0.025°;4、设计和编写了从机测控软件、主机控制软件和椭偏数据处理软件;5、提出了“周期步进计数法”,提高了起、检偏器机械定位的准确性和稳定性;6、对于消光点的寻找,采用“等值点对平  (本文共79页) 本文目录 | 阅读全文>>

《广西物理》1999年03期
广西物理

关于椭圆偏振的表征

就如何表征椭圆偏振作了分...  (本文共3页) 阅读全文>>

《哈尔滨师范大学自然科学学报》1999年05期
哈尔滨师范大学自然科学学报

关于椭圆偏振的表征

本文就如何表征椭...  (本文共3页) 阅读全文>>

《安阳工学院学报》2016年04期
安阳工学院学报

基于椭圆偏振法的薄膜厚度测量

选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明,椭圆偏...  (本文共3页) 阅读全文>>

《腐蚀科学与防护技术》2012年02期
腐蚀科学与防护技术

椭圆偏振测量术在金属腐蚀与防护领域的应用

椭圆偏振测量术是一种高度灵敏的、非破坏性的原位表征技术,是金属腐蚀与防护研究的一种重要工具.本文基于...  (本文共4页) 阅读全文>>

《复合材料学报》1986年01期
复合材料学报

椭圆偏振理论与高聚物复合材料结构性能的研究——(一)椭圆偏振理论分析——各向同性体系

本文主要研究各向同性透明材料薄膜的椭圆偏振理论及实验参数选择。这是椭圆偏振用于高聚物复合材料结构性能研究的一个基本问题。从椭圆偏振...  (本文共10页) 阅读全文>>