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ITO玻璃衬底上PLZT铁电薄膜的制备与性能研究

近年来,PLZT铁电薄膜制备方法与应用研究引人注目。早期制备陶瓷薄膜主要采用真空镀膜技术如等离子溅射法,但真空技术由于化学计量比较难以控制并且制备参数复杂,影响了成膜质量。溶胶一凝胶法与其它方法相比,具有化学计量比精确、均匀性好、易于掺杂改性、退火温度较低、成本低等优点,成为目前PLZT铁电薄膜制备最常用的方法之一. 本工作采用溶胶一凝胶法和快速退火工艺在掺Sn的In2O3 导电透明膜(ITO) 衬底上制备了不同镧掺杂浓度的PbZr0.5Ti0.5O3 铁电薄膜(PLZT薄膜),测试了PZT薄膜的微结构,研究了退火温度和掺La量对薄膜铁电性能、介电性能和漏电性能的影响。主要结果:X射线衍射测量表明PLZT 薄膜在ITO衬底上能正常结晶,结晶取向呈(101) 择优取向; 经650oC退火的5mol%La掺杂的PLZT薄膜有优良的铁电特性, 15V 的外加电压下, 剩余极化为35.4μC/cm2, 矫顽电场为111 kV/cm。1k  (本文共49页) 本文目录 | 阅读全文>>

《物理学报》2020年21期
物理学报

柔性无机铁电薄膜的制备及其应用

无机铁电薄膜材料有着优异的电、光特性,被广泛应用于介电、信息存储、压电、光电等领域.然而,基于单晶刚性基底和高温、含氧的合成环境的传统制备工艺,大大限制了其在柔性电子器件中的应用.实现无机铁电薄膜材料...  (本文共16页) 阅读全文>>

《测试技术学报》2010年05期
测试技术学报

硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析

采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变=ε0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,...  (本文共5页) 阅读全文>>

《材料导报》2010年21期
材料导报

有机铁电薄膜的研究进展

有机铁电薄膜材料因具有光电效应、压电效应、铁电等性能,可广泛应用于电子器件而备受关注。综述了聚偏氟乙烯[Poly(vinylidene f...  (本文共6页) 阅读全文>>

《真空》2008年06期
真空

金属有机化学气相沉积制备铁电薄膜材料研究进展

铁电薄膜是一类重要的功能材料,是近年来高新技术研究的前沿和热点之一。金属有机化学气相沉积(MOC...  (本文共4页) 阅读全文>>

权威出处: 《真空》2008年06期
《激光杂志》2008年04期
激光杂志

脉冲激光沉积制备铁电薄膜材料研究进展

铁电薄膜是一类重要的功能材料,是近年来高新技术研究的前沿和热点之一。脉冲激光沉积(P...  (本文共2页) 阅读全文>>