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原子力显微术轮廓仪的新方法研究及系统研制

二十世纪八十年代以来,随着扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)相继问世,纳米科技正给人类的生产生活带来深刻变革。在纳米检测方面,AFM因为它突出的分辨率、广泛的适用性,成为应用最广泛的检测仪器之一。但是AFM的扫描范围有限,一般是几微米或十几微米。由于范围太小,导致它在很多特定场合无法使用。在轮廓测量方面,各类表面台阶仪、光学轮廓仪也正广泛应用于生产和科研之中。原理各不相同,种类也是不计其数。但是它们在分辨率、稳定性等方面总是存在或多或少的问题,满足不了生产和科研的需求。针对越来越多的纳米检测需求,研制了一套全新的原子力显微术轮廓仪(AFM Profiler)系统。AFM Profiler系统是一套新型的系统,目前国内外都很少有类似的产品。它用步进电机实现样品与针尖的相对运动,将步进电机与AFM相结合,进行大范围高精度的纳米轮廓测量。它既具有AFM纳米级测量精度,又具有步进电机长程扫描范围,系统稳定性好,操作简单,自  (本文共76页) 本文目录 | 阅读全文>>

《电子显微学报》2019年06期
电子显微学报

双模原子力显微术的纳米力学测量原理及其应用

在纳米尺度上定量测量材料的力学性质已成为纳米科技领域的研究热点和挑战性课题。原子力显微术(AFM)是扫描探针显微术家族中的重要...  (本文共8页) 阅读全文>>

《物理》2016年03期
物理

原子力显微术研究进展

原子力显微术是微纳米尺度实空间形貌成像与结构表征的关键技术之一。近些年,原子力显微术衍生发展出了一系列令人瞩目的功能化探测模式和新技术。文章从以下两个方面论述了原子力显微术的前沿...  (本文共8页) 阅读全文>>

权威出处: 《物理》2016年03期
《电子显微学报》1950年10期
电子显微学报

原子力显微术和近场光显微术正在结合起来

原子力显微术和近场光显微术正在结合起来随着原子力显微术的发展,制备了一系列不同尺寸、形状、强度的悬臂和...  (本文共1页) 阅读全文>>

《电子显微学报》2013年01期
电子显微学报

高速原子力显微术研究进展

自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具。由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业...  (本文共9页) 阅读全文>>

《电子显微学报》1950年20期
电子显微学报

原子力显微术

本文首先介绍了原子力显微术的基本理论,其次讨论了原子力显微镜的结构原理,主要报导了一台我们研制...  (本文共5页) 阅读全文>>