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聚酰亚胺集成温湿压传感器的研制

温度、湿度和压力参数的测量不仅与日常生活密切相关,在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等领域的应用也十分广泛。小尺寸、低功耗、低成本的单片集成传感器可以满足大规模、一次性使用的要求,特别是在气象一次性使用中。本文设计制作并测试了基于MEMS工艺的聚酰亚胺集成温湿压传感器。采用Pt薄膜电阻测量温度,可同时实现湿度和压力的温度补偿。采用聚酰亚胺电容式结构测量湿度。分别设计了平行板、叉指下电极和栅格、条形上电极结构。采用聚酰亚胺作为压力敏感薄膜,双面布置应变片测量压力,利用对称惠斯通电桥消除温度影响。采用非真空封装,简化工艺。研究结果表明,电容式湿度传感器栅格结构的Au上电极具有均匀的电场,而条形上电极结构聚酰亚胺感湿薄膜与外界的接触面积更大,拥有更大的灵敏度。由于聚酰亚胺的杨氏模量较小,压力薄膜具有良好的延展性。双面布置应变片测量压力,改善了压力单元的线性特性。集成传感器的温度单元在-20~100℃范围具有良好的线性,  (本文共71页) 本文目录 | 阅读全文>>

《轻工科技》2019年12期
轻工科技

传感器技术融入“创新思维”的课程改革探索

大学生创新创业教育是人才培养的要求,工科高职院校如何有效地将创新创业教育融入专业教育,是当前教学改革的方向。本文以高职传感器...  (本文共2页) 阅读全文>>

《价值工程》2020年01期
价值工程

传感器技术在机电自动化控制中的应用

对于机电自动化控制而言,传感器是其组成的重要核心。在整个机电自动化控制布局中占有着至关重要的地位。传感器主要以其广泛的应用被人们所熟知,同时也为人们的生活带来了一定的好处。在这之中,传感器也是我国高新电子科技的核心内容,能...  (本文共3页) 阅读全文>>

《变频器世界》2019年11期
变频器世界

非线性传感器的融合在多小车平台中的应用

使用一种价格低廉的光强传感器来定位多小车组中各个成员的相对位置。根据光强传感器的读数与光源的距离和角度之间的变化关系,为高度非线性的传感器建立合适的含参量数学模型。采用MOTION CAPTURE系统获取多组传感器与光源处于不同距离、不...  (本文共6页) 阅读全文>>

《今日制造与升级》2019年11期
今日制造与升级

堡盟的视野——访堡盟电子(上海)有限公司过程传感器业务发展经理张力

提到食品饮料工业,就不能忽视传感器的应用,无论是流量、温度、压力、液位等关键因子的测量,还是数据的分...  (本文共1页) 阅读全文>>

《仪表技术与传感器》2019年12期
仪表技术与传感器

《仪表技术与传感器》2019年总目次

...  (本文共8页) 阅读全文>>