全部 学问词条 学问文献 光刻胶 相关学问
光刻胶     

用以产生抗蚀复膜的感光树胶溶液。通常由精制环化树胶(10%)、二叠氮光敏剂(相当于树脂的5%)及溶剂二甲苯组成,或邻... [详细]

《简明摄影辞典》 字数(144)

光刻胶     

又称为光致抗蚀剂,是由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光灵敏的混合液体。光刻胶的品种繁多,根据化学反应机理及显影原理,可分为负性胶和正性胶。光照后,曝光部分发生交联反应,固化为不溶性物质的为负性胶(如图);反之,若发生分... [详细]

《中国成人教育百科全书·化学·化工》 字数(356)

又称光致抗蚀剂。由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。它利用感光树脂光照后,树脂的溶解性或亲和性发生明显的变化,在光刻... [详细]

《简明精细化工大辞典》 字数(217)

或称环化橡胶型光致抗蚀剂,系由环化天然橡胶、增感剂(或称交联剂、如对叠氮型化合物)、光敏剂及适当溶剂... [详细]

《精细化工辞典》 字数(160)

聚酯型光刻胶的化学组成为聚肉桂亚丙基二酸乙二醇酯,是一种具有高分辨率的负性抗蚀剂。它的抗蚀性能好,与SiO2及铝表面有较强的粘附力... [详细]

《精细化工辞典》 字数(199)

正型光刻胶由光分解剂和碱性可溶性树脂及溶剂组成,为重氮萘醌磺酸酯及线性酚醛制成。在受紫外光照射后,光照区光分解剂发生分解,溶于有机或无机碱性水溶液,未曝光部分被保留下来与母版形成相同的图形。该物质为琥珀色液体,易溶于醚、酯、... [详细]

《精细化工辞典》 字数(329)

用紫外光作曝光光源的光刻胶,一般是指分光感度波长为300~450nm的近紫外抗蚀剂。紫外光刻胶有负性、正性和正-负性两用三类,负... [详细]

《精细化工辞典》 字数(185)

学名聚乙烯醇肉桂酸酯。浅黄色透明液体。相对密度0.974。折射率1.4635。游离酸0.02毫克氢氧化钾/克。固体含量9.5±0.5%。粘度65±5毫帕·秒 (25℃)。常规腐蚀液... [详细]

《简明精细化工大辞典》 字数(255)

“七五”国家重点科技攻关项目——紫外光刻胶1991年在北京问世,并通过了化工部组织的部级鉴定。紫外光刻胶是大规模集成电路制造... [详细]

《共和国成就大辞典》 字数(167)

(一)原料及其规格1,2-萘醌-2-重氮基-5-磺酰氯(以下简称215酰氯)含量(氯值)≥98%摩尔吸收系数400nm7.80×103600nm1.5水分金属离子Na、Fe三羟基二苯甲酮混酚甲醛乙二醇单乙醚乙酸酯丙酮≤0.02%10×10-6含量≥98%(W/W)有效酚含量≥95%(W/W)... [详细]

《精细化工生产流程图解·一部》 字数(1018)