即“全息干涉法”。... [详细]

《地震词典》 字数(39)

近年来,激光干涉光刻技术成为了人们的研究热点。作为制备周期性微纳结构的有效手段之一,激光干涉光刻具有无需掩膜、成本低廉、高效简单的优点。光场调制技术通过调控光波的振幅、相位、偏振和频率信息,已经广泛应用于微纳结构制造、图像处理、信息传输和精密检测等领域。而激光干涉作为一种多束相干...[详细]

中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 博士论文 2021年 下载次数(54) | 被引次数(0)

以激光波长为长度基准的激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术,广泛应用于各种超精密加工、半导体集成电路芯片制造等高端装备领域。由于激光干涉位移测量大多在空气中进行,而激光在空气中的波长值与空气折射率密切相关,因此空气折射率测量的准确性是提高激光干涉仪位移测量精度的关键因...[详细]

浙江理工大学 博士论文 2021年 下载次数(13) | 被引次数(0)

近年来随着超精密装备制造、精密计量与前沿科学研究等快速发展,其对位移测量精度的需求已经从纳米量级逐步过渡到亚纳米甚至皮米量级,这给外差激光干涉测量技术提出了新的挑战。本领域提出的非共光路外差激光干涉测量方法被称为“下一代外差激光干涉测量方法”,是最有望实现该测量精度的方法。然而,...[详细]

哈尔滨工业大学 博士论文 2021年 下载次数(258) | 被引次数(1)

近年来,微纳米图案化纳米粒子(Nanoparticles,NPs)受到越来越多的关注,并被广泛应用于等离子体共振、表面增强拉曼散射(Surface Enhanced Raman Spectroscopy,SERS)、光催化以及高密度数据存储等器件中。激光干涉光刻(Laser In...[详细]

长春理工大学 博士论文 2020年 下载次数(182) | 被引次数(1)

近年来，随着超精密工程与纳米技术的不断发展，对外差激光干涉仪的测量精度、测量速度和抗干扰能力提出了越来越高的要求。高测速、高精度和高分辨率已经成为外差激光干涉测量技术的发展方向。根据纳米科学研究和超精密工程发展的要求，外差激光干涉测量技术的测量速度需达到几米/秒，分辨率需达到亚纳...[详细]

哈尔滨工业大学 博士论文 2014年 下载次数(1151) | 被引次数(41)

水下的目标探测一直都是军用和民用领域的热点研究问题,实现水下声信号的测量是突破水下通信、水体探测及水下目标的定位等难题的基础,对我国海洋资源的开发和保护、深远海探测与安保和新型装备制造等多个领域具有重要的作用。为提高激光干涉水声测量方法的抗干扰能力,本文提出了幅度调制激光干涉水声...[详细]

南京理工大学 硕士论文 2020年 下载次数(42) | 被引次数(0)

现有复杂面形轮廓测量技术存在测量局限性大、测量结果一致性差、面形评价的合理性无法进行判断等问题,因此需要对复杂面形的测量理论与方法进行研究,并研制相应的面形轮廓标准测量装置,以完善面形轮廓的量值统一与溯源体系。本论文“面形轮廓标准测量装置中激光干涉测量系统研究”是针对面形轮廓标准...[详细]

天津大学 硕士论文 2019年 下载次数(92) | 被引次数(1)

本论文结合浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室创新基金项目——“宽频带高精度角振动校准装置的研究”,对微幅角振动激光干涉法测量的若干技术问题进行了研究。第一章阐述了本文的研究背景和意义。首先介绍了激光干涉法测量技术;其次介绍了国内外角振动激光干涉法测量技术的研究现状;最后提出...[详细]

浙江大学 硕士论文 2016年 下载次数(99) | 被引次数(1)

近几年来,随着光电信息技术和计算机技术的兴起,三维轮廓测量系统已经广泛应用于地质勘查、医学领域、文物保护等领域。基于光学系统的非接触式三维轮廓测量系统是通过将光投影到被测物体上,并未与被测物直接接触且对物体无损伤。非接触式具有无损测量、实时测量和测量精度高的优点。现有的三维轮廓测...[详细]

电子科技大学 硕士论文 2017年 下载次数(155) | 被引次数(1)