全部 学问词条 学问文献 蓝宝石衬底 相关学问

因蓝宝石具有良好的稳定性能,且其生产技术成熟,是目前异质外延GaN应用最广泛的衬底材料之一。采用图形化蓝宝石衬底技术可以降低GaN外延层材料的位错密度,提高LED的内量子效率,同时提高LED出光效率提高,近年来引起了国内外的广泛关注。...[详细]

《半导体技术》2017年11期 下载次数(564) | 被引次数(3)

高质量GaN和InGaN晶体的外延生长对于实现高性能射频、电力电子和光电器件具有重要意义。基于平片蓝宝石衬底,由卤化物气相外延(HVPE)生长制备的GaN厚膜或衬底存在表面龟裂、局部碎裂、形貌差和位错密度高等一系列亟待解决的问题。另外,平片衬底表面分子束外延(MBE)自组装生长的...[详细]

哈尔滨工业大学 博士论文 2020年 下载次数(346) | 被引次数(0)

“中国制造2025”明确要求“全面推行绿色制造”,实施“绿色制造工程”,到2025年基本建立绿色制造体系,并在先进电子材料等重点领域中全面推行。LED作为新一代绿色照明产品,因其具有使用时间长、稳定性高、节能环保、调控方便等诸多优点而得到广泛的推广和应用。蓝宝石衬底作为目前LED...[详细]

重庆大学 硕士论文 2020年 下载次数(29) | 被引次数(0)

随着LED产业的发展,国内对蓝宝石衬底的需求越来越大,中国已经成为蓝宝石衬底主要的需求市场。LED产业是高投资,高收益,高风险的产业,受到市场供求关系影响,企业间的竞争非常激烈。目前,LED用蓝宝石衬底市场的竞争不仅仅局限于良品率,价格指标上,生产周期也愈发受到企业的重视。缩短蓝...[详细]

江西理工大学 硕士论文 2020年 下载次数(112) | 被引次数(0)

图形化蓝宝石衬底可以降低GaN晶体的位错密度,提高LED的内量子效率,同时使LED出光效率提高,近年来引起了国内外的广泛关注。本文将湿法腐蚀技术和纳米球刻蚀技术结合,制备纳米级图形化蓝宝石衬底。通过SEM、AFM、XRD等表征手段对胶体球掩膜、SiO_2掩膜、纳米级图形化蓝宝石衬...[详细]

河北工业大学 硕士论文 2018年 下载次数(101) | 被引次数()

图形化蓝宝石衬底是在平片蓝宝石衬底表面刻蚀出周期性图形阵列,其在提升GaN基LED的发光性能方面具有较大优势。针对目前湿法刻蚀图形化蓝宝石衬底的刻蚀机理不深入的问题,本文系统研究了刻蚀剂和刻蚀时间对c面蓝宝石单晶和图形化蓝宝石衬底的酸刻蚀行为的影响,深入研究了湿法刻蚀过程中图形化...[详细]

哈尔滨工业大学 硕士论文 2016年 下载次数(373) | 被引次数(3)

为了缩短某光电制造企业蓝宝石衬底生产周期,采用失效模式与影响分析(FMEA)方法,对蓝宝石衬底生产周期进行改善。首先,对蓝宝石衬底生产周期组成及工艺流程进行分析;其次,结合...[详细]

《机械设计与制造》2022年05期 下载次数(91) | 被引次数(0)

发光二极管作为第四代照明光源,具有寿命长、节能环保、色彩丰富等一系列优点。从其被发明到现在一直受到人们的追捧,其发光效率一直是研究者炙手可热的研究对象,随着LED的不断发展,获得更高效的LED成为研究者的诉求。目前,发光二极管发光效率低的主要原因是其较低的内量子效率(IQE)和较...[详细]

河北工业大学 硕士论文 2020年 下载次数(76) | 被引次数(0)

蓝宝石由于其在物理、光学、化学和力学等方面的优越性能,成为半导体领域极为重要的衬底材料。高精度的蓝宝石衬底表面质量,对其表面的外延层生长及器件性能至关重要。然而,一系列的机械和化学加工过程,易在衬底表面形成各种缺陷。衬底表面缺陷特征分析和评定的研究工作对于探索缺陷形成与工艺参数映...[详细]

华侨大学 硕士论文 2020年 下载次数(93) | 被引次数(0)

目的设计单晶蓝宝石衬底化学机械抛光的合理方案,探究主要抛光工艺参数对抛光衬底的表面质量和材料去除率的影响,并得到一组材料去除率高且表面质量满足要求的抛光工艺参数。方法借助原子力显微镜和精密天平分别对衬底表面形貌和材料去除率进行分析,采用单因素实验法探究了抛光粒子、抛光时间、抛光压...[详细]

《表面技术》2017年03期 下载次数(697) | 被引次数(38)