全部 学问词条 学问文献 薄膜应力 相关学问

通常薄膜由它所附着的基体支承着,因此薄膜的结构和性能受到基体材料的重要影响。薄膜与基体之间构成相互联系、相互作用的统一体,这种相互作用宏观上以两种力的形式表现出来:其一是表征薄膜与基体接触界面间结合强度的附着力;其二则是反映... [详细]

《平板显示释疑手册》 字数(1205)

从作用方向上来看。薄膜应力有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面膨胀的趋势则基底对薄膜产生压应力,如图1-2-1(a)所示;相反,薄膜沿膜面的收缩趋势造成张应力,如图1-2-1(b)所示。一般定义张应力为正应力,压应力为负应力。过大的张应力... [详细]

《光学薄膜及其应用》 字数(1959)

1.2.4.1 薄膜应力形成的主要机制在薄膜材料和基底材料确定以后,沉积参数和处理过程是影响薄膜应力状态的重要因素。表1-2-1为薄膜应力的几种诱因,可以看出,薄膜应力的诸多形成和发展的因素基本都是与薄膜的制备过程相关[6~17]。表1-2-1... [详细]

《光学薄膜及其应用》 字数(7602)

薄膜的内应力主要来源于薄膜本身微结构的变化,这种变化包含以下几层含义:①薄膜与相应的薄膜材料具有相同的晶系,但是受沉积参数及其他因素的影响,薄膜的晶格常数或晶胞结构发生了变化;②相对于体材料,薄膜具有多孔、低维特性,表面、界面... [详细]

《光学薄膜及其应用》 字数(1375)

一般条件下,薄膜应力的测量都是在薄膜制备以后,甚至是放置了很多天以后进行。所得到的薄膜应力是薄膜的终态应力,它不仅包含了薄膜应力发生发展的全部信息,还包含了薄膜制备之后,环境、时效及所有的物理化学过程对薄膜应力的影响。很难用... [详细]

《光学薄膜及其应用》 字数(6953)

在当代高科技领域,薄膜科学有着极其重要的应用,许多新材料和新器件的开发都是从制备薄膜开始的.薄膜应力是薄膜生产、制备中的一种普遍现象,几乎所有的薄膜都处于一定的应力状态,过大的张应力或压应力都会引起薄膜表面破损,使生产成本不断提高,极大地限制了薄膜的使用性能。通过对薄膜应力的研究...[详细]

兰州理工大学 硕士论文 2008年 下载次数(492) | 被引次数(3)

随着薄膜电子器件的尺寸不断减小,薄膜应力成为薄膜器件失效的重要原因。薄膜应力不仅影响薄膜结构而且与薄膜光学、电学、力学等性质相关,因此,薄膜应力逐渐成为薄膜材料研究领域的热点之一。本文综述了薄膜应力的最新研究进展,对比分析了基底曲率法、X射线衍射法、拉曼光谱法等常见的薄膜应力检测...[详细]

《航空材料学报》2018年01期 下载次数(1208) | 被引次数(22)

随着科学的进步和技术的革新,薄膜基底结构被广泛地应用到高新技术产业的各个领域。基底上的薄膜结构在制造和加工过程中会不可避免地产生残余应力,在工作环境中由于热力耦合的作用会产生热应力等。薄膜应力对薄膜器件的性能和使用寿命产生不利影响,而且应力是导致薄膜失效破坏的关键因素。因此,开展...[详细]

江苏大学 硕士论文 2021年 下载次数(159) | 被引次数(0)

在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时监测,精确控制薄膜的生长过程。国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技术,国外的检测设备一般也仅检测个别量。本文在研究国内外薄膜特性检测技术的基础上,提出了多光束偏转测量法在线检测半导体薄膜...[详细]

苏州大学 硕士论文 2013年 下载次数(70) | 被引次数(1)

随着科学技术不断研发,我国的各个领域都进行了很大的改革与创新。国内的相关学者加大了对薄膜应力的研究,使用溅镀或蒸镀的方法将薄膜材料附着在...[详细]

《科技风》2018年02期 下载次数(223) | 被引次数(1)