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随着光学工程学科的不断发展,非球面光学元件越来越多地应用到国民经济的各个方面。然而,在设计、加工、检测和装调等各个环节之中,非球面面形的高精度检测已经成为制约其应用的最主要因素。本文研究了可用于深度非球面和非球面波前高精度检测的非零位环形子孔径拼接干涉(非零位ASSI)检测技术和...[详细]

浙江大学 博士论文 2013年 下载次数(1232) | 被引次数(22)

光学自由曲面元件在校正各类像差的同时还能简化光学系统的结构,使光学系统的性能得到显著提升,因此在照明领域、显示领域、生物医学领域等被大量使用。但其过多的“自由度”,使得高精度加工和检测该类元件变得非常困难,制约了它在成像领域的应用推广。自由曲面光学元件的面形精密检测问题已经成为世...[详细]

南京理工大学 博士论文 2014年 下载次数(882) | 被引次数(18)

光学测试中常用非零位法来对非球面进行初步检测。由于非零位法偏离了零位条件,导致检测得到的被测非球面而形与其真实面形存在一定程度的偏差(称之为回程误差)。分析了非球面非零位检测系统中的回程误差问题,得出了回程误差与被...[详细]

《光学学报》2009年03期 下载次数(420) | 被引次数(21)

非球面光学元件在各领域中得到越来越广泛的应用。近年来,光学元件加工技术发展迅速,面形加工精度可达纳米量级,但非球面的高精度通用化检测一直是一项具有挑战的课题。干涉测量法具有高精度、高灵敏度、重复性好等优点,是面形高精度检测的常用方法,其中非零位法又可在一定程度上提高测量通用性。美...[详细]

浙江大学 博士论文 2017年 下载次数(571) | 被引次数(9)

由于非球面比球面可以提供更大的自由度,所以在光学系统中使用非球面可以缩小系统整体外形尺寸,减轻系统重量,改善像质等,从而提高系统的整体性能。然而,由于非球面形状及光学特性各异,非球面检测系统历来都是个难题。非球面的检测方法很多,主要有零位干涉检测法、非零位干涉检测法、轮廓法等。零...[详细]

浙江大学 博士论文 2010年 下载次数(1440) | 被引次数(20)

光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差...[详细]

《光学学报》2016年08期 下载次数(329) | 被引次数(13)

非球面的非零位检测较其零位检测而言具有更强的通用性,但非零位检测偏离了零位条件,所产生的回程误差给被测非球面的面形重构带来一定困难。针对非球面非零位检测中回程误差的校正与面形重构问题,提出了基于检测系统理论建模的非球面面...[详细]

《光学学报》2014年06期 下载次数(325) | 被引次数(13)

点衍射干涉仪能够能够实现亚纳米级精度的测量,在大口径(特别是超大口径)元件面形测量方面具有显著优势;但在测量复杂面形光学元件时,由于元件表面梯度较大,往往干涉条纹过密,无法通过条纹信息解算光学元件的面形,从而限制了干涉仪的应用对象范围。为解决这一问题,本文提出了一种非零位点...[详细]

《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》 2018-08-20 下载次数(14) | 被引次数(0)

为了实现大口径凸非球面镜的高精度检测,本文研究了凸非球面非零位子孔径拼接检测技术,并建立了一套非零位拼接检测算法模型,模型中分别针对同轴子孔径与离轴子孔径非零位检测时所引入的测试误差进行了建模分析,同时对测试误差剔除、拼接系数求解、全口径面形获得等问题进行了研究。最后,结合工程实...[详细]

《中国光学》2018年05期 下载次数(163) | 被引次数(6)

本文分析了非球面非零位检测中3种典型的非球面度及其变化率、调整误差、回程误差以及干涉仪系统误差,提出了非球面度变化率是影响检测误差的主要因素,并给出了非球面非零位检测面形加工误差的确定方法.对基于Zernike多项式拟合的最小二乘法和系数转换法进行了对...[详细]

《纳米技术与精密工程》2013年03期 下载次数(310) | 被引次数(4)